Rhennir y swbstrad carbid silicon yn fath lled-inswleiddio a math dargludol. Ar hyn o bryd, mae manyleb prif ffrwd cynhyrchion swbstrad carbid silicon lled-inswleiddio yn 4 modfedd. Yn y farchnad carbid silicon dargludol, y fanyleb cynnyrch swbstrad prif ffrwd gyfredol yw 6 modfedd.
Oherwydd cymwysiadau i lawr yr afon yn y maes RF, mae swbstradau SiC lled-inswleiddio a deunyddiau epitaxial yn destun rheolaeth allforio gan Adran Fasnach yr Unol Daleithiau. SiC lled-inswleiddio fel swbstrad yw'r deunydd a ffefrir ar gyfer GaN heteroepitaxy ac mae ganddo ragolygon cymhwyso pwysig ym maes microdon. O'i gymharu â'r diffyg cyfatebiaeth grisial o saffir 14% a Si 16.9%, dim ond 3.4% yw diffyg cyfatebiaeth grisial deunyddiau SiC a GaN. Ynghyd â dargludedd thermol tra-uchel SiC, mae gan y dyfeisiau microdon amledd uchel a phŵer uchel LED a GaN fanteision mawr mewn radar, offer microdon pŵer uchel a systemau cyfathrebu 5G.
Mae ymchwil a datblygu swbstrad SiC lled-inswleiddio bob amser wedi bod yn ffocws i ymchwil a datblygu swbstrad grisial sengl SiC. Mae dau brif anhawster wrth dyfu deunyddiau SiC lled-inswleiddio:
1) Lleihau'r amhureddau rhoddwr N a gyflwynir gan crucible graffit, arsugniad inswleiddio thermol a dopio mewn powdr;
2) Wrth sicrhau ansawdd a phriodweddau trydanol y grisial, cyflwynir canolfan lefel ddwfn i wneud iawn am yr amhureddau lefel bas gweddilliol â gweithgaredd trydanol.
Ar hyn o bryd, y gwneuthurwyr sydd â chynhwysedd cynhyrchu SiC lled-inswleiddio yn bennaf yw SICC Co, Semisic Crystal Co, Tanke Blue Co, Hebei Synlight Crystal Co., Ltd.
Cyflawnir y grisial SiC dargludol trwy chwistrellu nitrogen i'r atmosffer sy'n tyfu. Defnyddir swbstrad carbid silicon dargludol yn bennaf wrth gynhyrchu dyfeisiau pŵer, bydd dyfeisiau pŵer carbid silicon â foltedd uchel, cerrynt uchel, tymheredd uchel, amlder uchel, colled isel a manteision unigryw eraill, yn gwella'n fawr y defnydd presennol o ynni dyfeisiau pŵer sy'n seiliedig ar silicon effeithlonrwydd trosi, yn cael effaith sylweddol a phellgyrhaeddol ar y maes trosi ynni effeithlon. Y prif feysydd cais yw cerbydau trydan / pentyrrau gwefru, ynni newydd ffotofoltäig, tramwy rheilffordd, grid smart ac ati. Oherwydd bod cynhyrchion dargludol i lawr yr afon yn bennaf yn ddyfeisiau pŵer mewn cerbydau trydan, ffotofoltäig a meysydd eraill, mae'r posibilrwydd o gymhwyso yn ehangach, ac mae'r gwneuthurwyr yn fwy niferus.
Math grisial silicon carbid: Gellir rhannu strwythur nodweddiadol y carbid silicon crisialog 4H gorau yn ddau gategori, un yw'r math grisial carbid silicon ciwbig o strwythur sffalerit, a elwir yn 3C-SiC neu β-SiC, a'r llall yw'r hecsagonol neu strwythur diemwnt y strwythur cyfnod mawr, sy'n nodweddiadol o 6H-SiC, 4H-sic, 15R-SiC, ac ati, ar y cyd a elwir yn α-SiC. Mae gan 3C-SiC fantais gwrthedd uchel mewn dyfeisiau gweithgynhyrchu. Fodd bynnag, gall y diffyg cyfatebiaeth uchel rhwng cysonion dellt Si a SiC a chyfernodau ehangu thermol arwain at nifer fawr o ddiffygion yn yr haen epitaxial 3C-SiC. Mae gan 4H-SiC botensial mawr mewn gweithgynhyrchu MOSFETs, oherwydd bod ei dwf grisial a'i brosesau twf haen epitaxial yn fwy rhagorol, ac o ran symudedd electronau, mae 4H-SiC yn uwch na 3C-SiC a 6H-SiC, gan ddarparu gwell nodweddion microdon ar gyfer 4H -SiC MOSFETs.
Os oes trosedd, cysylltwch â dileu
Amser post: Gorff-16-2024