Beth yw'r gwahaniaeth rhwng swbstrad dargludol SiC a swbstrad lled-inswleiddio?

SiC silicon carbiddyfais yn cyfeirio at y ddyfais a wneir o silicon carbide fel y deunydd crai.

Yn ôl y gwahanol eiddo ymwrthedd, caiff ei rannu'n ddyfeisiau dargludol silicon carbide pŵer acarbid silicon lled-inswleiddioDyfeisiau RF.

Ffurfiau prif ddyfais a chymwysiadau carbid silicon

Prif fanteision SiC drosoddSi defnyddiauyn:

Mae gan SiC fwlch band 3 gwaith yn fwy na Si, a all leihau gollyngiadau a chynyddu goddefgarwch tymheredd.

Mae gan SiC 10 gwaith cryfder maes chwalu Si, gall wella'r dwysedd presennol, amlder gweithredu, gwrthsefyll cynhwysedd foltedd a lleihau'r golled ar-off, sy'n fwy addas ar gyfer cymwysiadau foltedd uchel.

Mae gan SiC ddwywaith cyflymder drifft dirlawnder electronau Si, felly gall weithredu ar amledd uwch.

Mae gan SiC 3 gwaith y dargludedd thermol Si, gwell perfformiad afradu gwres, gall gefnogi dwysedd pŵer uchel a lleihau gofynion afradu gwres, gan wneud y ddyfais yn ysgafnach.

Swbstrad dargludol

Swbstrad dargludol: Trwy gael gwared ar amrywiol amhureddau yn y grisial, yn enwedig amhureddau lefel bas, i gyflawni gwrthedd uchel cynhenid ​​y grisial.

a1

Dargludolswbstrad carbid siliconwafer SiC

Dyfais pŵer carbid silicon dargludol yw trwy dwf haen epitaxial carbid silicon ar y swbstrad dargludol, caiff y daflen epitaxial carbid silicon ei phrosesu ymhellach, gan gynnwys cynhyrchu deuodau Schottky, MOSFET, IGBT, ac ati, a ddefnyddir yn bennaf mewn cerbydau trydan, pŵer ffotofoltäig cynhyrchu, cludo rheilffyrdd, canolfan ddata, codi tâl a seilwaith arall. Mae'r buddion perfformiad fel a ganlyn:

Nodweddion pwysedd uchel gwell. Mae cryfder dadansoddiad maes trydan carbid silicon yn fwy na 10 gwaith yn fwy na silicon, sy'n gwneud ymwrthedd pwysedd uchel dyfeisiau carbid silicon yn sylweddol uwch na dyfeisiadau silicon cyfatebol.

Gwell nodweddion tymheredd uchel. Mae gan silicon carbid ddargludedd thermol uwch na silicon, sy'n gwneud afradu gwres y ddyfais yn haws a'r tymheredd gweithredu terfyn yn uwch. Gall ymwrthedd tymheredd uchel arwain at gynnydd sylweddol mewn dwysedd pŵer, tra'n lleihau'r gofynion ar y system oeri, fel y gall y derfynell fod yn fwy ysgafn a miniaturized.

Defnydd llai o ynni. ① Mae gan ddyfais carbid silicon ar-ymwrthedd isel iawn ac ar-golled isel; (2) Mae cerrynt gollyngiadau dyfeisiau carbid silicon yn cael ei leihau'n sylweddol na dyfeisiadau silicon, a thrwy hynny leihau colli pŵer; ③ Nid oes unrhyw ffenomen cynffonnau ar hyn o bryd ym mhroses diffodd dyfeisiau silicon carbid, ac mae'r golled newid yn isel, sy'n gwella amlder newid cymwysiadau ymarferol yn fawr.

Swbstrad SiC lled-inswleiddio

Swbstrad SiC lled-inswleiddio: Defnyddir dopio N i reoli gwrthedd cynhyrchion dargludol yn gywir trwy raddnodi'r berthynas gyfatebol rhwng crynodiad dopio nitrogen, cyfradd twf a gwrthedd grisial.

a2
a3

Deunydd swbstrad lled-inswleiddio purdeb uchel

Gwneir dyfeisiau RF carbon silicon lled-inswleiddio ymhellach trwy dyfu haen epitaxial gallium nitride ar swbstrad carbid silicon lled-inswleiddio i baratoi taflen epitaxial silicon nitrid, gan gynnwys HEMT a dyfeisiau RF gallium nitride eraill, a ddefnyddir yn bennaf mewn cyfathrebu 5G, cyfathrebu cerbydau, cymwysiadau amddiffyn, trosglwyddo data, awyrofod.

Cyfradd drifft electron dirlawn deunyddiau carbid silicon a gallium nitrid yw 2.0 a 2.5 gwaith yn fwy na silicon yn y drefn honno, felly mae amlder gweithredu dyfeisiau carbid silicon a gallium nitrid yn fwy na dyfeisiau silicon traddodiadol. Fodd bynnag, mae gan ddeunydd nitrid gallium yr anfantais o wrthwynebiad gwres gwael, tra bod gan garbid silicon wrthwynebiad gwres da a dargludedd thermol, a all wneud iawn am wrthwynebiad gwres gwael dyfeisiau nitrid gallium, felly mae'r diwydiant yn cymryd carbid silicon lled-inswleiddio fel y swbstrad. , a ‘haen epitaxial yn cael ei dyfu ar y swbstrad carbid silicon i weithgynhyrchu dyfeisiau RF.

Os oes trosedd, cysylltwch â dileu


Amser post: Gorff-16-2024