Tabl Cynnwys
1. Trosolwg a Swyddogaethau Craidd FOUP
2. Nodweddion Strwythur a Dylunio FOUP
3. Canllawiau Dosbarthu a Chymhwyso FOUP
4. Gweithrediadau a Phwysigrwydd FOUP mewn Gweithgynhyrchu Lled-ddargludyddion
5. Heriau Technegol a Thueddiadau Datblygu yn y Dyfodol
6. Datrysiadau a Chymorth Gwasanaeth wedi'u Teilwra XKH
Yn y broses weithgynhyrchu lled-ddargludyddion, mae'r Pod Unedig Agoriad Blaen (FOUP) yn gynhwysydd hanfodol a ddefnyddir ar gyfer amddiffyn, cludo a storio wafferi. Gall ei du mewn ddal 25 darn o wafferi 300mm, ac mae ei brif gydrannau'n cynnwys cynhwysydd sy'n agor o'r blaen a ffrâm drws bwrpasol ar gyfer agor a chau. Mae'r FOUP yn gludydd craidd yn y system gludo awtomataidd o fewn ffatrïoedd wafferi 12 modfedd. Fel arfer caiff ei gludo mewn cyflwr caeedig a dim ond pan gaiff ei wthio i borthladd llwytho'r offer y mae'n agor, gan ganiatáu i wafferi gael eu trosglwyddo i borthladd llwytho/dadlwytho'r offer.
Mae dyluniad y FOUP wedi'i addasu i ofynion micro-amgylchedd. Mae'n cynnwys slotiau yn y cefn ar gyfer mewnosod wafers, ac mae'r caead wedi'i gynllunio'n benodol i gyd-fynd â chlamp yr agorwr. Mae robotiaid trin wafers yn gweithredu mewn amgylchedd aer glân Dosbarth 1, gan sicrhau nad yw'r wafers yn cael eu halogi yn ystod y trosglwyddiad. Ar ben hynny, mae'r FOUP yn cael ei symud rhwng offer prosesu trwy system trin deunyddiau awtomataidd (AMHS). Mae ffatrïoedd wafer modern yn defnyddio systemau rheilffordd uwchben yn bennaf ar gyfer cludiant, tra gall rhai ffatrïoedd hŷn ddefnyddio cerbydau tywys awtomataidd (AGVs) ar y ddaear.
Nid yn unig y mae'r FOUP yn galluogi trosglwyddo wafferi awtomataidd ond mae hefyd yn cyflawni swyddogaeth storio. Oherwydd y camau gweithgynhyrchu niferus, gall wafferi gymryd misoedd i gwblhau'r llif proses gyfan. Ynghyd â chyfrolau cynhyrchu misol uchel, mae hyn yn golygu bod degau o filoedd o wafferi o fewn ffatri yn cael eu cludo'n gyson neu eu storio dros dro ar unrhyw adeg benodol. Yn ystod y storio, mae FOUPs yn cael eu puro'n rheolaidd â nitrogen i atal halogion rhag cysylltu â'r wafferi, gan sicrhau proses gynhyrchu lân a dibynadwy.
1. Swyddogaethau a Phwysigrwydd FOUP
Prif swyddogaeth y FOUP yw amddiffyn wafferi rhag sioc a halogiad allanol, gan osgoi effeithiau ar gynnyrch yn ystod y trosglwyddiad yn benodol. Mae'n atal lleithder yn effeithiol trwy ddulliau fel puro nwy a Rheoli Atmosffer Lleol (LAC), gan sicrhau bod wafferi'n aros mewn cyflwr diogel wrth aros am y cam gweithgynhyrchu nesaf. Mae ei system wedi'i selio a'i rheoli yn caniatáu i gyfansoddion ac elfennau angenrheidiol yn unig fynd i mewn, gan leihau effeithiau andwyol VOCs, ocsigen a lleithder ar y wafferi yn sylweddol.
Gan y gall FOUP sydd wedi'i lwytho'n llawn â 25 o wafferi bwyso hyd at 9 cilogram, rhaid i'w gludiant ddibynnu ar System Trin Deunyddiau Awtomataidd (AMHS). Er mwyn hwyluso hyn, mae'r FOUP wedi'i gynllunio gyda chyfuniadau amrywiol o blatiau cyplu, pinnau a thyllau, ac mae wedi'i gyfarparu â thagiau electronig RFID ar gyfer adnabod a dosbarthu hawdd. Nid oes angen bron unrhyw weithrediad â llaw ar gyfer y trin awtomataidd hwn, gan leihau cyfraddau gwallau yn fawr a gwella diogelwch a chywirdeb y broses weithgynhyrchu.
2. Strwythur a Dosbarthiad FOUP
Mae dimensiynau nodweddiadol FOUP tua 420 mm o led, 335 mm o ddyfnder, a 335 mm o uchder. Mae ei brif gydrannau strwythurol yn cynnwys: pen madarch (OHT) uchaf ar gyfer cludo teclyn codi uwchben; Drws blaen ar gyfer mynediad i wafferi offer; Dolenni ochr, sydd yn aml wedi'u codio â lliw i wahaniaethu rhwng ardaloedd proses â gwahanol lefelau halogiad; ardal Gardiau ar gyfer gosod cardiau negeseuon; a thag RFID gwaelod sy'n gwasanaethu fel yr adnabyddydd unigryw ar gyfer y FOUP, gan ganiatáu i offer a theclynnau codi uwchben ei adnabod. Mae'r gwaelod hefyd wedi'i gyfarparu â phedair twll adnabod a lleoli ar gyfer paru ag offer a gwahaniaethu rhwng ardaloedd proses.
Yn seiliedig ar y defnydd, mae FOUPs yn cael eu dosbarthu i dri math: PRD (ar gyfer cynhyrchu), ENG (ar gyfer wafferi peirianneg), a MON (ar gyfer wafferi monitro). Gellir defnyddio FOUPs PRD ar gyfer gweithgynhyrchu cynhyrchion, mae mathau ENG yn addas ar gyfer Ymchwil a Datblygu neu arbrofion, ac mae mathau MON wedi'u neilltuo i fonitro prosesau ar gyfer camau fel CMP a DIFF. Mae'n bwysig nodi y gellir defnyddio FOUPs PRD at ddibenion ENG a MON, a gellir defnyddio mathau ENG ar gyfer MON, ond mae'r llawdriniaeth gwrthdro yn peri risgiau ansawdd.
Wedi'u dosbarthu yn ôl lefel halogiad, gellir rhannu FOUPs yn FE FOUP (proses flaen, di-fetel), BE FOUP (proses gefn, yn cynnwys metel), a'r rhai sy'n arbenigo ar gyfer prosesau metel penodol fel NI FOUP, CU FOUP, a CO FOUP. Mae FOUPs ar gyfer gwahanol brosesau fel arfer yn cael eu gwahaniaethu gan liw'r dolenni ochr neu'r paneli drysau. Gellir defnyddio FOUPs o brosesau blaen mewn prosesau cefn, ond ni ddylid byth defnyddio FOUPs cefn mewn prosesau blaen, gan y byddai hyn yn achosi risgiau halogiad.
Fel cludwr allweddol mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, mae'r FOUP, trwy awtomeiddio uchel a rheolaeth halogiad llym, yn sicrhau diogelwch a glendid wafers yn ystod y broses gynhyrchu, gan ei wneud yn seilwaith anhepgor mewn ffatrïoedd wafer modern.
Casgliad
Mae XKH wedi ymrwymo i ddarparu atebion Pod Unedig Agor-Blaen (FOUP) wedi'u teilwra'n fawr i gwsmeriaid, gan lynu'n llym wrth ofynion eich proses penodol a manylebau rhyngwyneb offer. Gan fanteisio ar dechnoleg deunyddiau uwch a phrosesau gweithgynhyrchu manwl gywir, rydym yn sicrhau bod pob cynnyrch FOUP yn darparu aerglosrwydd, glendid a sefydlogrwydd mecanyddol eithriadol. Mae gan ein tîm technegol arbenigedd dwfn yn y diwydiant, gan gynnig cefnogaeth gynhwysfawr ar gyfer cylch bywyd—o ymgynghori â dethol ac optimeiddio strwythurol i lanhau a chynnal a chadw—gan sicrhau integreiddio di-dor a chydweithio effeithlon rhwng y FOUP a'ch System Trin Deunyddiau Awtomataidd (AMHS) yn ogystal ag offer prosesu. Rydym yn blaenoriaethu diogelwch wafferi a gwella cynnyrch cynhyrchu yn gyson fel ein hamcanion craidd. Trwy gynhyrchion arloesol a gwasanaethau technegol cynhwysfawr, rydym yn darparu gwarant gadarn ar gyfer eich prosesau gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, gan hybu effeithlonrwydd cynhyrchu a chynnyrch cynnyrch yn y pen draw.
Amser postio: Medi-08-2025