Chuck Ceramig Silicon Carbid ar gyfer Wafer SiC saffir Si GAA

Disgrifiad Byr:

Mae'r Silicon Carbide Ceramic Chuck yn blatfform perfformiad uchel wedi'i beiriannu ar gyfer archwilio lled-ddargludyddion, cynhyrchu wafferi, a chymwysiadau bondio. Wedi'i adeiladu gyda deunyddiau ceramig uwch—gan gynnwys SiC sintered (SSiC), SiC bondio adwaith (RSiC), silicon nitrid, a nitrid alwminiwm—mae'n cynnig anystwythder uchel, ehangu thermol isel, ymwrthedd gwisgo rhagorol, a bywyd gwasanaeth hir.

Anfonwch e-bost atom ni

Nodweddion

Diagram Manwl

Trosolwg o Chuck Ceramig Silicon Carbide (SiC)

YChuck Ceramig Silicon Carbidyn blatfform perfformiad uchel wedi'i beiriannu ar gyfer archwilio lled-ddargludyddion, cynhyrchu wafers, a chymwysiadau bondio. Wedi'i adeiladu gyda deunyddiau ceramig uwch—gan gynnwysSiC sinteredig (SSiC), SiC wedi'i fondio ag adwaith (RSiC), silicon nitrid, aalwminiwm nitrid—mae'n cynniganystwythder uchel, ehangu thermol isel, ymwrthedd gwisgo rhagorol, a bywyd gwasanaeth hir.

Gyda pheirianneg fanwl gywir a sgleinio o'r radd flaenaf, mae'r chuck yn cyflawnigwastadrwydd is-micron, arwynebau o ansawdd drych, a sefydlogrwydd dimensiynol hirdymor, gan ei wneud yn ateb delfrydol ar gyfer prosesau lled-ddargludyddion critigol.

Manteision Allweddol

Manwl gywirdeb uchel
Gwastadrwydd dan reolaeth o fewn0.3–0.5 μm, gan sicrhau sefydlogrwydd wafer a chywirdeb proses gyson.
Sgleinio Drych
Yn cyflawniRa 0.02 μmgarwedd arwyneb, gan leihau crafiadau a halogiad wafer—perffaith ar gyfer amgylcheddau hynod o lân.
Ultra-Ysgafn
Yn gryfach ond yn ysgafnach na swbstradau cwarts neu fetel, gan wella rheolaeth symudiad, ymatebolrwydd a chywirdeb lleoli.
Anystwythder Uchel
Mae modwlws Young eithriadol yn sicrhau sefydlogrwydd dimensiynol o dan lwythi trwm a gweithrediad cyflym.
Ehangu Thermol Isel
Mae CTE yn cyfateb yn agos i wafferi silicon, gan leihau straen thermol a gwella dibynadwyedd prosesau.
Gwrthiant Gwisgo Rhagorol
Mae caledwch eithafol yn cadw gwastadrwydd a chywirdeb hyd yn oed o dan ddefnydd hirdymor, amledd uchel.

Proses Gweithgynhyrchu

Paratoi Deunydd Crai
Powdrau SiC purdeb uchel gyda maint gronynnau rheoledig ac amhureddau isel iawn.
Ffurfio a Sinteru
Technegau felsinteru di-bwysau (SSiC) or bondio adwaith (RSiC)cynhyrchu swbstradau ceramig trwchus, unffurf.
Peiriannu Manwl
Mae malu CNC, tocio laser, a pheiriannu ultra-gywirdeb yn cyflawni goddefgarwch o ±0.01 mm a pharalelrwydd ≤3 μm.
Triniaeth Arwyneb
Malu a sgleinio aml-gam i Ra 0.02 μm; haenau dewisol ar gael ar gyfer ymwrthedd i gyrydiad neu briodweddau ffrithiant wedi'u haddasu.
Arolygu a Rheoli Ansawdd
Mae ymyrraethyddion a phrofwyr garwedd yn gwirio cydymffurfiaeth â manylebau gradd lled-ddargludyddion.

Manylebau Technegol

Paramedr	Gwerth	Uned
Gwastadrwydd	≤0.5	μm
Meintiau waffer	6'', 8'', 12'' (arfer ar gael)	—
Math o arwyneb	Math o bin / Math o fodrwy	—
Uchder y pin	0.05–0.2	mm
Diamedr pin lleiaf	ϕ0.2	mm
Bylchau lleiaf rhwng pinnau	3	mm
Lled cylch selio lleiaf	0.7	mm
Garwedd arwyneb	Ra 0.02	μm
Goddefgarwch trwch	±0.01	mm
Goddefgarwch diamedr	±0.01	mm
Goddefgarwch paraleliaeth	≤3	μm

Prif Gymwysiadau

Offer archwilio wafer lled-ddargludyddion
Systemau cynhyrchu a throsglwyddo wafers
Offer bondio a phecynnu wafer
Gweithgynhyrchu dyfeisiau optoelectroneg uwch
Offerynnau manwl sydd angen arwynebau hynod wastad, hynod lân

C&A – Chuck Ceramig Silicon Carbid

C1: Sut mae chucks ceramig SiC yn cymharu â chucks cwarts neu fetel?
A1: Mae ciwciau SiC yn ysgafnach, yn fwy anhyblyg, ac mae ganddyn nhw CTE sy'n debyg i waferi silicon, gan leihau anffurfiad thermol. Maent hefyd yn cynnig ymwrthedd gwisgo uwch a hyd oes hirach.

C2: Pa wastadrwydd y gellir ei gyflawni?
A2: Wedi'i reoli o fewn0.3–0.5 μm, yn bodloni gofynion llym cynhyrchu lled-ddargludyddion.

C3: A fydd yr wyneb yn crafu wafferi?
A3: Na - wedi'i sgleinio â drych iRa 0.02 μm, gan sicrhau trin heb grafiadau a llai o ronynnau'n cael eu cynhyrchu.

C4: Pa feintiau wafer sy'n cael eu cefnogi?
A4: Meintiau safonol6'', 8'', a 12'', gyda modd addasu.

C5: Sut mae'r gwrthiant thermol?
A5: Mae cerameg SiC yn darparu perfformiad tymheredd uchel rhagorol gydag anffurfiad lleiaf posibl o dan gylchred thermol.

Amdanom Ni

Mae XKH yn arbenigo mewn datblygu, cynhyrchu a gwerthu gwydr optegol arbennig a deunyddiau crisial newydd mewn technoleg uchel. Mae ein cynnyrch yn gwasanaethu electroneg optegol, electroneg defnyddwyr, a'r fyddin. Rydym yn cynnig cydrannau optegol Saffir, gorchuddion lensys ffonau symudol, Cerameg, LT, Silicon Carbide SIC, Cwarts, a wafers crisial lled-ddargludyddion. Gyda arbenigedd medrus ac offer arloesol, rydym yn rhagori mewn prosesu cynhyrchion ansafonol, gan anelu at fod yn fenter uwch-dechnoleg deunyddiau optoelectroneg flaenllaw.