Swbstrad Wafferi Sapphire Dia300x1.0mmt 12 modfedd C-Plane SSP/DSP
Sefyllfa Marchnad Swbstrad Sapphire 12 modfedd
Ar hyn o bryd, mae gan saffir ddau brif ddefnydd, un yw'r deunydd swbstrad, sef deunydd swbstrad LED yn bennaf, a'r llall yw'r deial gwylio, hedfan, awyrofod, deunydd ffenestr gweithgynhyrchu arbennig.
Er bod silicon carbid, silicon a gallium nitrid hefyd ar gael fel swbstradau ar gyfer leds yn ogystal â saffir, nid yw cynhyrchu màs yn bosibl o hyd oherwydd cost a rhai tagfeydd technegol heb eu datrys. Is-haen Sapphire trwy'r datblygiad technegol yn y blynyddoedd diwethaf, mae ei baru dellt, dargludedd trydanol, priodweddau mecanyddol, dargludedd thermol ac eiddo eraill wedi'u gwella'n fawr a'u hyrwyddo, mae mantais gost-effeithiol yn sylweddol, felly mae saffir wedi dod yn ddeunydd swbstrad mwyaf aeddfed a sefydlog yn y diwydiant LED, wedi cael ei ddefnyddio'n eang yn y farchnad, cyfran y farchnad mor uchel â 90%.
Nodweddiadol o Is-haen Wafferi Sapphire 12 Modfedd
1. Mae gan arwynebau swbstrad Sapphire gyfrif gronynnau hynod o isel, gyda llai na 50 o ronynnau 0.3 micron neu fwy fesul 2 fodfedd yn yr ystod maint 2 i 8 modfedd, a metelau mawr (K, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni , Cu, Zn) o dan 2E10/cm2. Disgwylir i'r deunydd sylfaen 12 modfedd hefyd gyflawni'r radd hon.
2. Gellir ei ddefnyddio fel wafer cludwr ar gyfer y broses weithgynhyrchu lled-ddargludyddion 12-modfedd (paledi trafnidiaeth mewn-dyfais) ac fel swbstrad ar gyfer bondio.
3. Yn gallu rheoli siâp arwyneb ceugrwm ac amgrwm.
Deunydd: Al2O3 grisial sengl purdeb uchel, wafer saffir.
Ansawdd LED, dim swigod, craciau, gefeilliaid, llinach, dim lliw ac ati.
Wafferi Sapphire 12 modfedd
Cyfeiriadedd | Awyren C <0001> +/- 1 deg. |
Diamedr | 300.0 +/-0.25 mm |
Trwch | 1.0 +/-25wm |
Rhic | Rhic neu Fflat |
TTV | <50um |
BOW | <50um |
Ymylon | siamffer amddiffynnol |
Ochr blaen - caboledig 80/50 | |
Marc laser | Dim |
Pecynnu | Blwch cludwr waffer sengl |
Ochr flaen Epi parod wedi'i sgleinio (Ra <0,3nm) | |
Ochr gefn Epi yn barod wedi'i sgleinio (Ra <0,3nm) |