Offer Llifio Disio Manwl Awtomatig 12 modfedd System Torri Wafer Pwrpasol ar gyfer Si/SiC a HBM (Al)
Paramedrau technegol
Paramedr | Manyleb |
Maint Gweithio | Φ8", Φ12" |
Werthyd | Deuol-echel 1.2/1.8/2.4/3.0, Uchafswm o 60000 rpm |
Maint y Llafn | 2" ~ 3" |
Echel Y1 / Y2
| Cynnydd un cam: 0.0001 mm |
Cywirdeb lleoli: < 0.002 mm | |
Ystod torri: 310 mm | |
Echel X | Ystod cyflymder porthiant: 0.1–600 mm/s |
Echel Z1 / Z2
| Cynnydd un cam: 0.0001 mm |
Cywirdeb lleoli: ≤ 0.001 mm | |
θ Echel | Cywirdeb lleoli: ±15" |
Gorsaf Glanhau
| Cyflymder cylchdroi: 100–3000 rpm |
Dull glanhau: Rinsiad awtomatig a sychu troelli | |
Foltedd Gweithredu | 3-gam 380V 50Hz |
Dimensiynau (L×D×U) | 1550 × 1255 × 1880 mm |
Pwysau | 2100 kg |
Egwyddor Weithio
Mae'r offer yn cyflawni torri manwl gywirdeb uchel trwy'r technolegau canlynol:
1. System Werthyd Anhyblygedd Uchel: Cyflymder cylchdro hyd at 60,000 RPM, wedi'i gyfarparu â llafnau diemwnt neu bennau torri laser i addasu i wahanol briodweddau deunydd.
2. Rheoli Symudiad Aml-Echelin: Cywirdeb lleoli echelin X/Y/Z o ±1μm, wedi'i baru â graddfeydd gratiau manwl iawn i sicrhau llwybrau torri heb wyriadau.
3. Aliniad Gweledol Deallus: Mae CCD cydraniad uchel (5 megapixel) yn adnabod strydoedd torri yn awtomatig ac yn gwneud iawn am ystumio neu gamliniad deunydd.
4. Oeri a Thynnu Llwch: System oeri dŵr pur integredig a thynnu llwch sugno gwactod i leihau effaith thermol a halogiad gronynnau.
Moddau Torri
1. Disio Llafn: Addas ar gyfer deunyddiau lled-ddargludyddion traddodiadol fel Si a GaAs, gyda lled cerfio o 50–100μm.
2. Disio Laser Cudd: Fe'i defnyddir ar gyfer wafferi ultra-denau (<100μm) neu ddeunyddiau bregus (e.e., LT/LN), gan alluogi gwahanu di-straen.
Cymwysiadau Nodweddiadol
Deunydd Cydnaws | Maes Cais | Gofynion Prosesu |
Silicon (Si) | ICs, synwyryddion MEMS | Torri manwl gywirdeb uchel, naddu <10μm |
Silicon Carbid (SiC) | Dyfeisiau pŵer (MOSFET/diodau) | Torri difrod isel, optimeiddio rheoli thermol |
Galliwm Arsenid (GaAs) | Dyfeisiau RF, sglodion optoelectronig | Atal micro-graciau, rheoli glendid |
Swbstradau LT/LN | Hidlwyr SAW, modiwlyddion optegol | Torri di-straen, gan gadw priodweddau piezoelectrig |
Swbstradau Ceramig | Modiwlau pŵer, pecynnu LED | Prosesu deunydd caledwch uchel, gwastadrwydd ymyl |
Fframiau QFN/DFN | Pecynnu uwch | Torri aml-sglodion ar yr un pryd, optimeiddio effeithlonrwydd |
Wafferi WLCSP | Pecynnu lefel wafer | Disio wafferi ultra-denau heb ddifrod (50μm) |
Manteision
1. Sganio ffrâm casét cyflym gyda larymau atal gwrthdrawiadau, lleoli trosglwyddo cyflym, a gallu cywiro gwallau cryf.
2. Modd torri deu-werthyd wedi'i optimeiddio, gan wella effeithlonrwydd tua 80% o'i gymharu â systemau un-werthyd.
3. Sgriwiau pêl wedi'u mewnforio'n fanwl gywir, canllawiau llinol, a rheolaeth dolen gaeedig graddfa gratiau echelin-Y, gan sicrhau sefydlogrwydd hirdymor peiriannu manwl iawn.
4. Llwytho/dadlwytho, lleoli trosglwyddo, torri aliniad, ac archwilio cerfio wedi'i awtomeiddio'n llawn, gan leihau llwyth gwaith y gweithredwr (OP) yn sylweddol.
5. Strwythur mowntio gwerthyd arddull gantri, gyda bylchau llafn deuol lleiaf o 24mm, gan alluogi addasrwydd ehangach ar gyfer prosesau torri gwerthyd deuol.
Nodweddion
1. Mesur uchder di-gyswllt manwl gywir.
2. Torri llafn deuol aml-wafer ar un hambwrdd.
3. Systemau calibradu awtomatig, archwilio cerfio, a chanfod torri llafnau.
4. Yn cefnogi prosesau amrywiol gydag algorithmau aliniad awtomatig dewisadwy.
5. Swyddogaeth hunan-gywiro namau a monitro aml-safle amser real.
6. Gallu archwilio'r toriad cyntaf ar ôl y deisio cychwynnol.
7. Modiwlau awtomeiddio ffatri y gellir eu haddasu a swyddogaethau dewisol eraill.
Gwasanaethau Offer
Rydym yn darparu cefnogaeth gynhwysfawr o ddewis offer i gynnal a chadw hirdymor:
(1) Datblygiad wedi'i Addasu
· Argymell atebion torri llafn/laser yn seiliedig ar briodweddau deunydd (e.e., caledwch SiC, breuder GaAs).
· Cynnig profion sampl am ddim i wirio ansawdd torri (gan gynnwys naddu, lled y cerfio, garwedd yr wyneb, ac ati).
(2) Hyfforddiant Technegol
· Hyfforddiant Sylfaenol: Gweithrediad offer, addasu paramedrau, cynnal a chadw arferol.
· Cyrsiau Uwch: Optimeiddio prosesau ar gyfer deunyddiau cymhleth (e.e. torri swbstradau LT heb straen).
(3) Cymorth Ôl-Werthu
· Ymateb 24/7: Diagnosteg o bell neu gymorth ar y safle.
· Cyflenwad Rhannau Sbâr: Gwerthydau, llafnau a chydrannau optegol wedi'u stocio ar gyfer eu disodli'n gyflym.
· Cynnal a Chadw Ataliol: Calibradiad rheolaidd i gynnal cywirdeb ac ymestyn oes y gwasanaeth.

Ein Manteision
✔ Profiad yn y Diwydiant: Yn gwasanaethu dros 300 o weithgynhyrchwyr lled-ddargludyddion ac electroneg byd-eang.
✔ Technoleg Arloesol: Mae canllawiau llinol manwl gywir a systemau servo yn sicrhau sefydlogrwydd sy'n arwain y diwydiant.
✔ Rhwydwaith Gwasanaeth Byd-eang: Cwmpas yn Asia, Ewrop a Gogledd America ar gyfer cymorth lleol.
Am brofion neu ymholiadau, cysylltwch â ni!

