Lled-Insiwleiddio purdeb 3 modfedd uchel (HPSI) Wafferi SiC 350um gradd ffug Gradd gysefin
Cais
Mae wafferi HPSI SiC yn hollbwysig wrth alluogi dyfeisiau pŵer cenhedlaeth nesaf, a ddefnyddir mewn amrywiaeth o gymwysiadau perfformiad uchel:
Systemau Trosi Pŵer: Mae wafferi SiC yn gwasanaethu fel y deunydd craidd ar gyfer dyfeisiau pŵer fel MOSFETs pŵer, deuodau, ac IGBTs, sy'n hanfodol ar gyfer trosi pŵer effeithlon mewn cylchedau trydanol. Mae'r cydrannau hyn i'w cael mewn cyflenwadau pŵer effeithlonrwydd uchel, gyriannau modur, a gwrthdroyddion diwydiannol.
Cerbydau Trydan (EVs):Mae'r galw cynyddol am gerbydau trydan yn golygu bod angen defnyddio electroneg pŵer mwy effeithlon, ac mae wafferi SiC ar flaen y gad yn y trawsnewid hwn. Mewn trenau pŵer EV, mae'r wafferi hyn yn darparu galluoedd newid cyflym ac effeithlonrwydd uchel, sy'n cyfrannu at amseroedd gwefru cyflymach, ystod hirach, a pherfformiad cyffredinol gwell y cerbyd.
Ynni Adnewyddadwy:Mewn systemau ynni adnewyddadwy fel ynni solar a gwynt, defnyddir wafferi SiC mewn gwrthdroyddion a thrawsnewidwyr sy'n galluogi dal a dosbarthu ynni mwy effeithlon. Mae dargludedd thermol uchel a foltedd chwalu uwch SiC yn sicrhau bod y systemau hyn yn gweithredu'n ddibynadwy, hyd yn oed o dan amodau amgylcheddol eithafol.
Awtomeiddio Diwydiannol a Roboteg:Mae electroneg pŵer perfformiad uchel mewn systemau awtomeiddio diwydiannol a roboteg yn gofyn am ddyfeisiau sy'n gallu newid yn gyflym, trin llwythi pŵer mawr, a gweithredu o dan straen uchel. Mae lled-ddargludyddion sy'n seiliedig ar SiC yn bodloni'r gofynion hyn trwy ddarparu effeithlonrwydd a chadernid uwch, hyd yn oed mewn amgylcheddau gweithredu llym.
Systemau Telathrebu:Mewn seilwaith telathrebu, lle mae dibynadwyedd uchel a throsi ynni effeithlon yn hollbwysig, defnyddir wafferi SiC mewn cyflenwadau pŵer a thrawsnewidwyr DC-DC. Mae dyfeisiau SiC yn helpu i leihau'r defnydd o ynni a gwella perfformiad system mewn canolfannau data a rhwydweithiau cyfathrebu.
Trwy ddarparu sylfaen gadarn ar gyfer cymwysiadau pŵer uchel, mae wafer HPSI SiC yn galluogi datblygu dyfeisiau ynni-effeithlon, gan helpu diwydiannau i drosglwyddo i atebion gwyrddach, mwy cynaliadwy.
Priodweddau
agoriad | Gradd Cynhyrchu | Gradd Ymchwil | Gradd dymi |
Diamedr | 75.0 mm ± 0.5 mm | 75.0 mm ± 0.5 mm | 75.0 mm ± 0.5 mm |
Trwch | 350 µm ± 25 µm | 350 µm ± 25 µm | 350 µm ± 25 µm |
Cyfeiriadedd Wafferi | Ar echel: <0001> ± 0.5° | Ar echel: <0001> ± 2.0° | Ar echel: <0001> ± 2.0° |
Dwysedd Microbibell ar gyfer 95% o Wafferi (MPD) | ≤ 1 cm⁻² | ≤ 5 cm⁻² | ≤ 15 cm⁻² |
Gwrthiant Trydanol | ≥ 1E7 Ω·cm | ≥ 1E6 Ω·cm | ≥ 1E5 Ω·cm |
Dopant | Heb ei ddadwneud | Heb ei ddadwneud | Heb ei ddadwneud |
Cyfeiriadedd Fflat Cynradd | {11-20} ± 5.0° | {11-20} ± 5.0° | {11-20} ± 5.0° |
Hyd Fflat Cynradd | 32.5 mm ± 3.0 mm | 32.5 mm ± 3.0 mm | 32.5 mm ± 3.0 mm |
Hyd Fflat Uwchradd | 18.0 mm ± 2.0 mm | 18.0 mm ± 2.0 mm | 18.0 mm ± 2.0 mm |
Cyfeiriadedd Fflat Eilaidd | Si wyneb i fyny: 90 ° CW o fflat cynradd ± 5.0 ° | Si wyneb i fyny: 90 ° CW o fflat cynradd ± 5.0 ° | Si wyneb i fyny: 90 ° CW o fflat cynradd ± 5.0 ° |
Gwahardd Ymyl | 3 mm | 3 mm | 3 mm |
LTV/TTV/Bow/Warp | 3 µm / 10 µm / ±30 µm / 40 µm | 3 µm / 10 µm / ±30 µm / 40 µm | 5 µm / 15 µm / ±40 µm / 45 µm |
Garwedd Arwyneb | C-wyneb: sgleinio, Si-wyneb: CMP | C-wyneb: sgleinio, Si-wyneb: CMP | C-wyneb: sgleinio, Si-wyneb: CMP |
Craciau (wedi'u harchwilio gan olau dwysedd uchel) | Dim | Dim | Dim |
Platiau Hecs (wedi'u harchwilio gan olau dwysedd uchel) | Dim | Dim | Maes cronnus 10% |
Ardaloedd Polyteip (wedi'u harolygu gan olau dwysedd uchel) | Maes cronnus 5% | Maes cronnus 5% | Maes cronnus 10% |
Crafiadau (wedi'u harchwilio gan olau dwysedd uchel) | ≤ 5 crafiadau, hyd cronnus ≤ 150 mm | ≤ 10 crafiadau, hyd cronnus ≤ 200 mm | ≤ 10 crafiadau, hyd cronnus ≤ 200 mm |
Naddu Ymyl | Ni chaniateir dim ≥ 0.5 mm o led a dyfnder | 2 a ganiateir, ≤ 1 mm lled a dyfnder | 5 a ganiateir, ≤ 5 mm lled a dyfnder |
Halogiad Arwyneb (wedi'i archwilio gan olau dwysedd uchel) | Dim | Dim | Dim |
Manteision Allweddol
Perfformiad Thermol Uwch: Mae dargludedd thermol uchel SiC yn sicrhau afradu gwres effeithlon mewn dyfeisiau pŵer, gan ganiatáu iddynt weithredu ar lefelau pŵer ac amlder uwch heb orboethi. Mae hyn yn trosi i systemau llai, mwy effeithlon a rhychwant oes gweithredol hirach.
Foltedd Dadelfennu Uchel: Gyda bwlch band ehangach o'i gymharu â silicon, mae wafferi SiC yn cefnogi cymwysiadau foltedd uchel, gan eu gwneud yn ddelfrydol ar gyfer cydrannau electronig pŵer sydd angen gwrthsefyll folteddau dadelfennu uchel, megis mewn cerbydau trydan, systemau pŵer grid, a systemau ynni adnewyddadwy.
Llai o Golled Pŵer: Mae cyflymder ar-ymwrthedd isel a chyflymder newid cyflym dyfeisiau SiC yn arwain at golli llai o ynni yn ystod y llawdriniaeth. Mae hyn nid yn unig yn gwella effeithlonrwydd ond hefyd yn gwella arbedion ynni cyffredinol y systemau y maent yn cael eu defnyddio ynddynt.
Dibynadwyedd Gwell mewn Amgylcheddau Llym: Mae priodweddau deunydd cadarn SiC yn caniatáu iddo berfformio mewn amodau eithafol, megis tymereddau uchel (hyd at 600 ° C), folteddau uchel, ac amleddau uchel. Mae hyn yn gwneud wafferi SiC yn addas ar gyfer cymwysiadau diwydiannol, modurol ac ynni heriol.
Effeithlonrwydd Ynni: Mae dyfeisiau SiC yn cynnig dwysedd pŵer uwch na dyfeisiau traddodiadol sy'n seiliedig ar silicon, gan leihau maint a phwysau systemau electronig pŵer tra'n gwella eu heffeithlonrwydd cyffredinol. Mae hyn yn arwain at arbedion cost ac ôl troed amgylcheddol llai mewn cymwysiadau fel ynni adnewyddadwy a cherbydau trydan.
Scalability: Mae diamedr 3 modfedd a goddefiannau gweithgynhyrchu manwl gywir y wafer SiC HPSI yn sicrhau ei fod yn raddadwy ar gyfer cynhyrchu màs, gan fodloni gofynion ymchwil a gweithgynhyrchu masnachol.
Casgliad
Y wafer HPSI SiC, gyda'i ddiamedr 3-modfedd a 350 µm ± 25 µm o drwch, yw'r deunydd gorau posibl ar gyfer y genhedlaeth nesaf o ddyfeisiau electronig pŵer perfformiad uchel. Mae ei gyfuniad unigryw o ddargludedd thermol, foltedd chwalu uchel, colled ynni isel, a dibynadwyedd o dan amodau eithafol yn ei gwneud yn elfen hanfodol ar gyfer amrywiol gymwysiadau mewn trosi pŵer, ynni adnewyddadwy, cerbydau trydan, systemau diwydiannol a thelathrebu.
Mae'r waffer SiC hwn yn arbennig o addas ar gyfer diwydiannau sy'n ceisio cyflawni effeithlonrwydd uwch, mwy o arbedion ynni, a gwell dibynadwyedd system. Wrth i dechnoleg electroneg pŵer barhau i esblygu, mae wafer HPSI SiC yn darparu'r sylfaen ar gyfer datblygu datrysiadau ynni-effeithlon cenhedlaeth nesaf, gan yrru'r newid i ddyfodol carbon isel mwy cynaliadwy.