4 modfedd 6 modfedd Lithium niobate ffilm grisial sengl LNOI wafer
Rhennir y broses o baratoi deunyddiau LNOI yn bennaf i'r pedwar cam canlynol
(1) Cafodd ïonau he eu chwistrellu i mewn i'r deunydd lithiwm niobate X-toriad ar egni penodol, a'i gyflwyno i'r haen ddiffyg ar ddyfnder penodol o dan haen wyneb lithiwm niobate;
(2) Mae'r deunydd lithiwm niobate a fewnblannir gan ïon wedi'i fondio i swbstrad silicon gyda haen ocsid i ffurfio strwythur bondio;
(3) Cafodd y strwythur bondio ei anelio i wneud i'r diffygion a gyflwynwyd gan fewnblannu ïon He esblygu ac agregu i ffurfio craciau. Yn olaf, gwahanwyd y niobate lithiwm ar hyd yr haen ddiffyg i ffurfio'r sleisys niobate lithiwm gweddilliol a wafferi LNOI.
Cymwysiadau a manteision afrlladen LNOI
1-- Mae gan ffilmiau piezoelectrig lithiwm niobate (LNOI) gyfernod piezoelectrig uchel a chyson dielectrig, a all drosi ynni mecanyddol yn ynni trydanol neu ynni trydanol yn ynni mecanyddol. Felly, fe'i defnyddir yn eang ym maes synwyryddion, megis synwyryddion pwysau, synwyryddion cyflymu, synwyryddion tymheredd ac yn y blaen. Yn ogystal, gellir defnyddio'r ffilm piezoelectric lithiwm niobate hefyd mewn dyfeisiau acwstig a dyfeisiau dirgryniad, megis hidlydd ceramig piezoelectric transducer ceramig piezoelectrig cymhleth.
2-Mae sefydlogrwydd ffilm piezoelectrig lithiwm niobate hefyd yn un o'i fanteision. Oherwydd ei sefydlogrwydd strwythur grisial ac anadweithiolrwydd cemegol, gall ffilm piezoelectrig lithiwm niobate weithio mewn tymheredd uchel, lleithder uchel, asid cryf, alcali cryf ac amgylchedd garw arall, gydag ymwrthedd cyrydiad da a gwydnwch.
Mae ffilm piezoelectrig 3-Lithium niobate yn ddeunydd piezoelectrig newydd gyda pherfformiad a sefydlogrwydd rhagorol, ac mae ganddi obaith cymhwysiad eang. Gyda datblygiad parhaus gwyddoniaeth a thechnoleg, bydd ffilm piezoelectrig lithiwm niobate yn cael ei gymhwyso mewn mwy o ddinasoedd, gan ddod â mwy o gyfleustra ac arloesedd i fywydau pobl
Diagram Manwl
