Wafer LNOI ffilm grisial sengl lithiwm niobate 4 modfedd 6 modfedd
Mae'r broses baratoi ar gyfer deunyddiau LNOI wedi'i rhannu'n bennaf i'r pedwar cam canlynol
(1) Chwistrellwyd ïonau He i'r deunydd lithiwm niobad wedi'i dorri'n X ar egni penodol, a'u cyflwyno i'r haen ddiffygiol ar ddyfnder penodol o dan haen wyneb y lithiwm niobad;
(2) Mae'r deunydd lithiwm niobad sydd wedi'i fewnblannu ag ïon wedi'i fondio i swbstrad silicon gydag haen ocsid i ffurfio strwythur bondio;
(3) Cafodd y strwythur bondio ei anelio i wneud i'r diffygion a gyflwynwyd gan fewnblannu ïonau He esblygu a chrynhoi i ffurfio craciau. Yn olaf, gwahanwyd y lithiwm niobad ar hyd yr haen ddiffygiol i ffurfio'r sleisys lithiwm niobad gweddilliol a'r wafferi LNOI.
Cymwysiadau a manteision wafer LNOI
1--Mae gan ffilmiau piezoelectrig lithiwm niobate (LNOI) gyfernod piezoelectrig a chysonyn dielectrig uchel, a all drosi ynni mecanyddol yn ynni trydanol neu ynni trydanol yn ynni mecanyddol. Felly, fe'i defnyddir yn helaeth ym maes synwyryddion, megis synwyryddion pwysau, synwyryddion cyflymiad, synwyryddion tymheredd ac yn y blaen. Yn ogystal, gellir defnyddio'r ffilm piezoelectrig lithiwm niobate hefyd mewn dyfeisiau acwstig a dyfeisiau dirgryniad, megis hidlydd ceramig piezoelectrig cymhleth trawsddygiwr ceramig piezoelectrig.
2-Mae sefydlogrwydd ffilm piezoelectrig lithiwm niobate hefyd yn un o'i manteision. Oherwydd ei sefydlogrwydd strwythur crisial a'i anadweithiolrwydd cemegol, gall ffilm piezoelectrig lithiwm niobate weithio mewn tymheredd uchel, lleithder uchel, asid cryf, alcali cryf ac amgylcheddau llym eraill, gyda gwrthiant cyrydiad a gwydnwch da.
Mae ffilm piezoelectrig 3-Lithiwm niobate yn ddeunydd piezoelectrig newydd gyda pherfformiad a sefydlogrwydd rhagorol, ac mae ganddi ragolygon cymhwysiad eang. Gyda datblygiad parhaus gwyddoniaeth a thechnoleg, bydd ffilm piezoelectrig lithiwm niobate yn cael ei defnyddio mewn mwy o ddinasoedd, gan ddod â mwy o gyfleustra ac arloesedd i fywydau pobl.
Diagram Manwl


