Wafer gradd Cynhyrchu SiC 8inch 4H-N SiC swbstrad

Disgrifiad Byr:

Defnyddir swbstradau SiC 8-modfedd mewn dyfeisiau electronig pŵer uchel, megis MOSFETs pŵer (Transistorau Effaith Maes Lled-ddargludyddion Metel Ocsid), deuodau Schottky a dyfeisiau lled-ddargludyddion pŵer eraill.

Anfonwch e-bost atom

Manylion Cynnyrch

Tagiau Cynnyrch

Mae'r tabl canlynol yn dangos manylebau ein wafferi SiC 8 modfedd:

Manylebau SiC DSP math N 8
Rhif	Eitem	Uned	Cynhyrchu	Ymchwil	Dymi
1: paramedrau
1.1	polyteip	--	4H	4H	4H
1.2	cyfeiriadedd wyneb	°	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5
2: Paramedr trydanol
2.1	dopant	--	n-math Nitrogen	n-math Nitrogen	n-math Nitrogen
2.2	gwrthedd	ohm ·cm	0.015~0.025	0.01~0.03	NA
3: Paramedr mecanyddol
3.1	diamedr	mm	200±0.2	200±0.2	200±0.2
3.2	trwch	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	Cyfeiriadedd rhic	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Dyfnder rhic	mm	1 ~ 1.5	1 ~ 1.5	1 ~ 1.5
3.5	LTV	μm	≤5(10mm*10mm)	≤5(10mm*10mm)	≤10(10mm*10mm)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Bwa	μm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Ystof	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4: Strwythur
4.1	dwysedd microbibell	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	cynnwys metel	atomau/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	YDDS	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5.Front ansawdd
5.1	blaen	--	Si	Si	Si
5.2	gorffeniad wyneb	--	CMP Si-wyneb	CMP Si-wyneb	CMP Si-wyneb
5.3	gronyn	ea/wafer	≤100 (maint ≥0.3μm)	NA	NA
5.4	crafu	ea/wafer	≤5, Cyfanswm Hyd ≤200mm	NA	NA
5.5	Ymyl sglodion/indents/craciau/staeniau/halogiad	--	Dim	Dim	NA
5.6	Ardaloedd polyteip	--	Dim	Arwynebedd ≤10%	Arwynebedd ≤30%
5.7	marcio blaen	--	Dim	Dim	Dim
6: Ansawdd cefn
6.1	gorffen yn ôl	--	C-wyneb AS	C-wyneb AS	C-wyneb AS
6.2	crafu	mm	NA	NA	NA
6.3	Ymyl diffygion cefn sglodion/indent	--	Dim	Dim	NA
6.4	Garwedd cefn	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Marcio yn ôl	--	Rhic	Rhic	Rhic
7: ymyl
7.1	ymyl	--	Chamfer	Chamfer	Chamfer
8: Pecyn
8.1	pecynnu	--	Epi-barod gyda gwactod pecynnu	Epi-barod gyda gwactod pecynnu	Epi-barod gyda gwactod pecynnu
8.2	pecynnu	--	Aml-waffer pecynnu casét	Aml-waffer pecynnu casét	Aml-waffer pecynnu casét