Offer Torri Cylchoedd Wafer Awtomatig Llawn Maint Gweithio Torri Cylchoedd Wafer 8 modfedd/12 modfedd

Disgrifiad Byr:

Mae XKH wedi datblygu system tocio ymylon wafer cwbl awtomatig yn annibynnol, sy'n cynrychioli datrysiad uwch a gynlluniwyd ar gyfer prosesau gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion blaen. Mae'r offer hwn yn ymgorffori technoleg rheoli cydamserol aml-echel arloesol ac yn cynnwys system werthyd anhyblygedd uchel (cyflymder cylchdro uchaf: 60,000 RPM), gan ddarparu tocio ymyl manwl gywir gyda chywirdeb torri hyd at ±5μm. Mae'r system yn dangos cydnawsedd rhagorol ag amrywiol swbstradau lled-ddargludyddion, gan gynnwys ond heb fod yn gyfyngedig i:
1. Waferi silicon (Si): Addas ar gyfer prosesu ymyl waferi 8-12 modfedd;
2. Lled-ddargludyddion cyfansawdd: Deunyddiau lled-ddargludyddion trydydd cenhedlaeth fel GaAs a SiC;
3. swbstradau arbennig: waferi deunydd piezoelectrig gan gynnwys LT/LN;

Mae'r dyluniad modiwlaidd yn cefnogi disodli nifer o nwyddau traul yn gyflym gan gynnwys llafnau diemwnt a phennau torri laser, gyda chydnawsedd sy'n rhagori ar safonau'r diwydiant. Ar gyfer gofynion proses arbenigol, rydym yn darparu atebion cynhwysfawr sy'n cwmpasu:
· Cyflenwad nwyddau traul torri pwrpasol
· Gwasanaethau prosesu personol
· Datrysiadau optimeiddio paramedrau proses

Anfonwch e-bost atom ni

Nodweddion

Paramedrau technegol

Paramedr	Uned	Manyleb
Maint Uchafswm y Darn Gwaith	mm	ø12"
Werthyd	Ffurfweddiad	Un Werthyd
	Cyflymder	3,000–60,000 rpm
	Pŵer Allbwn	1.8 kW (2.4 dewisol) ar 30,000 munud⁻¹
	Diamedr Llafn Uchaf.	Ø58 mm
Echel-X	Ystod Torri	310 mm
Echel-Y	Ystod Torri	310 mm
	Cynnydd Cam	0.0001 mm
	Cywirdeb Lleoli	≤0.003 mm/310 mm, ≤0.002 mm/5 mm (gwall sengl)
Echel-Z	Datrysiad Symudiad	0.00005 mm
Echel-Z	Ailadroddadwyedd	0.001 mm
θ-Echelin	Cylchdro Uchaf	380 gradd
Math o Werthyd		Werthyd sengl, wedi'i chyfarparu â llafn anhyblyg ar gyfer torri cylchoedd
Cywirdeb Torri Cylchoedd	μm	±50
Cywirdeb Lleoli Wafer	μm	±50
Effeithlonrwydd Wafer Sengl	min/wafer	8
Effeithlonrwydd Aml-Wafer		Hyd at 4 wafer yn cael eu prosesu ar yr un pryd
Pwysau'r Offer	kg	≈3,200
Dimensiynau'r Offer (Ll×D×U)	mm	2,730 × 1,550 × 2,070

Egwyddor Weithredu

Mae'r system yn cyflawni perfformiad tocio eithriadol trwy'r technolegau craidd hyn:

1. System Rheoli Symudiad Deallus:
· Gyriant modur llinol manwl gywir (cywirdeb lleoli ailadroddus: ±0.5μm)
· Rheolaeth gydamserol chwe echel yn cefnogi cynllunio llwybr cymhleth
· Algorithmau atal dirgryniad amser real sy'n sicrhau sefydlogrwydd torri

2. System Canfod Uwch:
· Synhwyrydd uchder laser 3D integredig (cywirdeb: 0.1μm)
· Lleoli gweledol CCD cydraniad uchel (5 megapixel)
· Modiwl arolygu ansawdd ar-lein

3. Proses Awtomataidd Llawn:
· Llwytho/dadlwytho awtomatig (gydnaws â rhyngwyneb safonol FOUP)
· System ddidoli ddeallus
· Uned lanhau dolen gaeedig (glendid: Dosbarth 10)

Cymwysiadau Nodweddiadol

Mae'r offer hwn yn darparu gwerth sylweddol ar draws cymwysiadau gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion:

Maes Cais	Deunyddiau Prosesu	Manteision Technegol
Gweithgynhyrchu IC	Waferi Silicon 8/12"	Yn gwella aliniad lithograffeg
Dyfeisiau Pŵer	Wafers SiC/GaN	Yn atal diffygion ymyl
Synwyryddion MEMS	Wafers SOI	Yn sicrhau dibynadwyedd dyfais
Dyfeisiau RF	Wafers GaAs	Yn gwella perfformiad amledd uchel
Pecynnu Uwch	Wafferi wedi'u hailgyfansoddi	Yn cynyddu cynnyrch pecynnu

Nodweddion

1. Cyfluniad pedair gorsaf ar gyfer effeithlonrwydd prosesu uchel;
2. Datgysylltu a thynnu cylch TAIKO sefydlog;
3. Cydnawsedd uchel â nwyddau traul allweddol;
4. Mae technoleg tocio cydamserol aml-echel yn sicrhau torri ymyl manwl gywir;
5. Mae llif proses awtomataidd llawn yn lleihau costau llafur yn sylweddol;
6. Mae dyluniad bwrdd gwaith wedi'i addasu yn galluogi prosesu sefydlog o strwythurau arbennig;

Swyddogaethau

1. System canfod gollwng cylch;
2. Glanhau bwrdd gwaith awtomatig;
3. System dad-fondio UV deallus;
4. Cofnodi log gweithredu;
5. Integreiddio modiwl awtomeiddio ffatri;

Ymrwymiad Gwasanaeth

Mae XKH yn darparu gwasanaethau cymorth cylch bywyd cynhwysfawr, wedi'u cynllunio i wneud y mwyaf o berfformiad offer ac effeithlonrwydd gweithredol drwy gydol eich taith gynhyrchu.
1. Gwasanaethau Addasu
· Ffurfweddiad Offer wedi'i Deilwra: Mae ein tîm peirianneg yn cydweithio'n agos â chleientiaid i optimeiddio paramedrau system (cyflymder torri, dewis llafnau, ac ati) yn seiliedig ar briodweddau deunydd penodol (Si/SiC/GaAs) a gofynion proses.
· Cymorth Datblygu Prosesau: Rydym yn cynnig prosesu samplau gydag adroddiadau dadansoddi manwl gan gynnwys mesur garwedd ymyl a mapio diffygion.
· Cyd-ddatblygu Nwyddau Traul: Ar gyfer deunyddiau newydd (e.e., Ga₂O₃), rydym yn partneru â gweithgynhyrchwyr nwyddau traul blaenllaw i ddatblygu llafnau/opteg laser penodol i gymwysiadau.

2. Cymorth Technegol Proffesiynol
· Cymorth Pwrpasol ar y Safle: Neilltuwch beirianwyr ardystiedig ar gyfer cyfnodau rampio i fyny hanfodol (fel arfer 2-4 wythnos), gan gwmpasu:
Calibradu offer a mireinio prosesau
Hyfforddiant cymhwysedd gweithredwyr
Canllawiau integreiddio ystafelloedd glân Dosbarth 5 ISO
· Cynnal a Chadw Rhagfynegol: Gwiriadau iechyd chwarterol gyda dadansoddiad dirgryniad a diagnosteg modur servo i atal amser segur heb ei gynllunio.
· Monitro o Bell: Olrhain perfformiad offer amser real trwy ein platfform Rhyngrwyd Pethau (JCFront Connect®) gyda rhybuddion anomaledd awtomataidd.

3. Gwasanaethau Gwerth Ychwanegol
· Cronfa Wybodaeth Prosesau: Mynediad at dros 300 o ryseitiau torri dilys ar gyfer amrywiol ddefnyddiau (wedi'u diweddaru bob chwarter).
· Aliniad Map Ffordd Technoleg: Diogelu eich buddsoddiad ar gyfer y dyfodol gyda llwybrau uwchraddio caledwedd/meddalwedd (e.e., modiwl canfod diffygion sy'n seiliedig ar AI).
· Ymateb Brys: Diagnosis o bell gwarantedig 4 awr ac ymyrraeth ar y safle 48 awr (sylwad byd-eang).

4. Seilwaith Gwasanaeth
· Gwarant Perfformiad: Ymrwymiad cytundebol i amser gweithredu offer o ≥98% gydag amseroedd ymateb wedi'u cefnogi gan SLA.

Gwelliant Parhaus

Rydym yn cynnal arolygon bodlonrwydd cwsmeriaid ddwywaith y flwyddyn ac yn gweithredu mentrau Kaizen i wella'r ddarpariaeth gwasanaeth. Mae ein tîm Ymchwil a Datblygu yn trosi mewnwelediadau maes yn uwchraddio offer - mae 30% o welliannau cadarnwedd yn deillio o adborth cleientiaid.