Peiriant Llifio Diemwnt Aml-Wiail ar gyfer Deunyddiau Brau Ultra-Galed SiC Sapphire
Cyflwyniad i Beiriant Llifio Diemwnt Aml-Wiail
Mae'r peiriant llifio diemwnt aml-wifren yn system sleisio o'r radd flaenaf a gynlluniwyd ar gyfer prosesu deunyddiau hynod galed a brau. Trwy ddefnyddio nifer o wifrau cyfochrog wedi'u gorchuddio â diemwnt, gall y peiriant dorri nifer o wafferi ar yr un pryd mewn un cylch, gan gyflawni trwybwn uchel a chywirdeb. Mae'r dechnoleg hon wedi dod yn offeryn hanfodol mewn diwydiannau fel lled-ddargludyddion, ffotofoltäig solar, LEDs, a cherameg uwch, yn enwedig ar gyfer deunyddiau fel SiC, saffir, GaN, cwarts, ac alwmina.
O'i gymharu â thorri un wifren gonfensiynol, mae'r cyfluniad aml-wifren yn darparu dwsinau i gannoedd o sleisys fesul swp, gan leihau amser cylch yn fawr wrth gadw gwastadrwydd rhagorol (Ra < 0.5 μm) a chywirdeb dimensiynol (±0.02 mm). Mae ei ddyluniad modiwlaidd yn integreiddio tensiwn gwifren awtomataidd, systemau trin darnau gwaith, a monitro ar-lein, gan sicrhau cynhyrchu hirdymor, sefydlog, a gwbl awtomataidd.
Paramedrau Technegol Peiriant Llifio Diemwnt Aml-Wire
| Eitem | Manyleb | Eitem | Manyleb |
|---|---|---|---|
| Maint gwaith mwyaf (Sgwâr) | 220 × 200 × 350 mm | Modur gyrru | 17.8 kW × 2 |
| Maint gwaith mwyaf (Crwn) | Φ205 × 350 mm | Modur gyrru gwifren | 11.86 kW × 2 |
| Bylchau rhwng y werthyd | Φ250 ±10 × 370 × 2 echel (mm) | Modur codi bwrdd gwaith | 2.42 kW × 1 |
| Prif echel | 650 mm | Modur siglo | 0.8 kW × 1 |
| Cyflymder rhedeg gwifren | 1500 m/mun | Modur trefniant | 0.45 kW × 2 |
| Diamedr gwifren | Φ0.12–0.25 mm | Modur tensiwn | 4.15 kW × 2 |
| Cyflymder codi | 225 mm/mun | Modur slyri | 7.5 kW × 1 |
| Cylchdroi bwrdd mwyaf | ±12° | Capasiti tanc slyri | 300 L |
| Ongl siglo | ±3° | Llif oerydd | 200 L/mun |
| Amlder siglo | ~30 gwaith/munud | Cywirdeb tymheredd | ±2 °C |
| Cyfradd bwydo | 0.01–9.99 mm/mun | Cyflenwad pŵer | 335+210 (mm²) |
| Cyfradd bwydo gwifren | 0.01–300 mm/mun | Aer cywasgedig | 0.4–0.6 MPa |
| Maint y peiriant | 3550 × 2200 × 3000 mm | Pwysau | 13,500 kg |
Mecanwaith Gweithio Peiriant Llifio Diemwnt Aml-Wire
-
Symudiad Torri Aml-Wifren
Mae nifer o wifrau diemwnt yn symud ar gyflymder cydamserol hyd at 1500 m/mun. Mae pwlïau â chanllaw manwl gywir a rheolaeth tensiwn dolen gaeedig (15–130 N) yn cadw'r gwifrau'n sefydlog, gan leihau'r siawns o wyriad neu doriad. -
Bwydo a Lleoli Cywir
Mae lleoli â gyriant servo yn cyflawni cywirdeb o ±0.005 mm. Mae aliniad dewisol â laser neu gymorth golwg yn gwella canlyniadau ar gyfer siapiau cymhleth. -
Oeri a Thynnu Malurion
Mae oerydd pwysedd uchel yn tynnu sglodion yn barhaus ac yn oeri'r ardal waith, gan atal difrod thermol. Mae hidlo aml-gam yn ymestyn oes yr oerydd ac yn lleihau amser segur. -
Platfform Rheoli Clyfar
Mae gyrwyr servo ymateb uchel (<1 ms) yn addasu porthiant, tensiwn a chyflymder gwifren yn ddeinamig. Mae rheoli ryseitiau integredig a newid paramedr un clic yn symleiddio cynhyrchu màs.
Manteision Craidd Peiriant Llifio Diemwnt Aml-Wire
-
Cynhyrchiant Uchel
Yn gallu torri 50–200 o wafferi fesul rhediad, gyda cholled kerf <100 μm, gan wella defnydd deunydd hyd at 40%. Mae'r trwybwn yn 5–10 gwaith yn fwy na systemau gwifren sengl traddodiadol. -
Rheoli Manwldeb
Mae sefydlogrwydd tensiwn gwifren o fewn ±0.5 N yn sicrhau canlyniadau cyson ar wahanol ddefnyddiau brau. Mae monitro amser real ar ryngwyneb HMI 10" yn cefnogi storio ryseitiau a gweithredu o bell. -
Adeiladu Hyblyg, Modiwlaidd
Yn gydnaws â diamedrau gwifren o 0.12–0.45 mm ar gyfer gwahanol brosesau torri. Mae trin robotig dewisol yn caniatáu llinellau cynhyrchu cwbl awtomataidd. -
Dibynadwyedd Gradd Ddiwydiannol
Mae fframiau bwrw/ffugedig trwm yn lleihau anffurfiad (<0.01 mm). Mae pwlïau canllaw gyda haenau ceramig neu garbid yn darparu dros 8000 awr o oes gwasanaeth.
Meysydd Cymhwyso Peiriant Llifio Diemwnt Aml-Wire
-
Lled-ddargludyddionTorri SiC ar gyfer modiwlau pŵer cerbydau trydan, swbstradau GaN ar gyfer dyfeisiau 5G.
-
FfotofoltäigSleisio wafer silicon cyflym gydag unffurfiaeth o ±10 μm.
-
LED ac OptegSwbstradau saffir ar gyfer epitacsi ac elfennau optegol manwl gywir gyda sglodion ymyl <20 μm.
-
Cerameg UwchProsesu alwmina, AlN, a deunyddiau tebyg ar gyfer cydrannau awyrofod a rheoli thermol.
Cwestiynau Cyffredin – Peiriant Llifio Diemwnt Aml-Wiail
C1: Beth yw manteision llifio aml-wifren o'i gymharu â pheiriannau un wifren?
A: Gall systemau aml-wifren sleisio dwsinau i gannoedd o wafferi ar yr un pryd, gan hybu effeithlonrwydd 5–10×. Mae'r defnydd o ddeunyddiau hefyd yn uwch gyda cholled kerf islaw 100 μm, gan ei gwneud yn ddelfrydol ar gyfer cynhyrchu màs.
C2: Pa fathau o ddeunyddiau y gellir eu prosesu?
A: Mae'r peiriant wedi'i gynllunio ar gyfer deunyddiau caled a brau, gan gynnwys carbid silicon (SiC), saffir, nitrid galliwm (GaN), cwarts, alwmina (Al₂O₃), ac alwminiwm nitrid (AlN).
C3: Beth yw'r cywirdeb a'r ansawdd arwyneb y gellir eu cyflawni?
A: Gall garwedd arwyneb gyrraedd Ra <0.5 μm, gyda chywirdeb dimensiynol o ±0.02 mm. Gellir rheoli naddu ymylon i <20 μm, gan fodloni safonau'r diwydiant lled-ddargludyddion ac optoelectroneg.
C4: A yw'r broses dorri yn achosi craciau neu ddifrod?
A: Gyda oerydd pwysedd uchel a rheolaeth tensiwn dolen gaeedig, mae'r risg o ficro-graciau a difrod straen yn cael ei lleihau, gan sicrhau cyfanrwydd waffer rhagorol.
