Swbstradau Cyfansawdd SiC Math-N Dia6inch Monocristaline o ansawdd uchel ac swbstrad o ansawdd isel
Tabl paramedr cyffredin swbstradau cyfansawdd SiC math-N
| 项目Eitemau | 指标Manyleb | 项目Eitemau | 指标Manyleb |
| 直径Diamedr | 150±0.2mm | 正 面 ( 硅 面 ) 粗 糙度 Garwedd blaen (wyneb-Si) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) |
| 晶型Polyteip | 4H | Sglodion Ymyl, Crafiadau, Crac (archwiliad gweledol) | Dim |
| 电阻率Gwrthiant | 0.015-0.025ohm ·cm | 总厚度变化TTV | ≤3μm |
| Trwch yr haen drosglwyddo | ≥0.4μm | 翘曲度Ystof | ≤35μm |
| 空洞Gwag | ≤5 yr un/wafer (2mm>D>0.5mm) | 总厚度Trwch | 350±25μm |
Mae'r dynodiad "math-N" yn cyfeirio at y math o ddopio a ddefnyddir mewn deunyddiau SiC. Mewn ffiseg lled-ddargludyddion, mae dopio yn cynnwys cyflwyno amhureddau'n fwriadol i led-ddargludydd i newid ei briodweddau trydanol. Mae dopio math-N yn cyflwyno elfennau sy'n darparu gormod o electronau rhydd, gan roi crynodiad cludwr gwefr negyddol i'r deunydd.
Mae manteision swbstradau cyfansawdd SiC math-N yn cynnwys:
1. Perfformiad tymheredd uchel: Mae gan SiC ddargludedd thermol uchel a gall weithredu ar dymheredd uchel, gan ei wneud yn addas ar gyfer cymwysiadau electronig pŵer uchel ac amledd uchel.
2. Foltedd chwalfa uchel: Mae gan ddeunyddiau SiC foltedd chwalfa uchel, sy'n eu galluogi i wrthsefyll meysydd trydanol uchel heb chwalfa drydanol.
3. Gwrthiant cemegol ac amgylcheddol: Mae SiC yn gallu gwrthsefyll cemegol a gall wrthsefyll amodau amgylcheddol llym, gan ei wneud yn addas i'w ddefnyddio mewn cymwysiadau heriol.
4. Colli pŵer llai: O'i gymharu â deunyddiau traddodiadol sy'n seiliedig ar silicon, mae swbstradau SiC yn galluogi trosi pŵer yn fwy effeithlon ac yn lleihau colli pŵer mewn dyfeisiau electronig.
5. Bwlch band eang: Mae gan SiC fwlch band eang, sy'n caniatáu datblygu dyfeisiau electronig a all weithredu ar dymheredd uwch a dwyseddau pŵer uwch.
At ei gilydd, mae swbstradau cyfansawdd SiC math-N yn cynnig manteision sylweddol ar gyfer datblygu dyfeisiau electronig perfformiad uchel, yn enwedig mewn cymwysiadau lle mae gweithrediad tymheredd uchel, dwysedd pŵer uchel, a throsi pŵer effeithlon yn hanfodol.