math p 4H/6H-P 3C-N MATH SIC swbstrad 4 modfedd 〈111〉± 0.5 ° Sero MPD
Swbstradau Cyfansawdd SiC Math 4H/6H-P Tabl paramedr cyffredin
4 modfedd diamedr SiliconCarbide (SiC) Is-haen Manyleb
Gradd | Sero Cynhyrchu MPD Gradd (Z Gradd) | Cynhyrchu Safonol Gradd (P Gradd) | Gradd dymi (D Gradd) | ||
Diamedr | 99.5 mm ~ 100.0 mm | ||||
Trwch | 350 μm ± 25 μm | ||||
Cyfeiriadedd Wafferi | Oddi ar yr echelin: 2.0°-4.0° tuag at [1120] ± 0.5° ar gyfer 4H/6H-P, On echel: 〈111 〉 ± 0.5 ° ar gyfer 3C-N | ||||
Dwysedd Microbibell | 0 cm-2 | ||||
Gwrthedd | math p 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
n-math 3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Cyfeiriadedd Fflat Cynradd | 4H/6H-P | - {1010} ± 5.0° | |||
3C-N | - {110} ± 5.0° | ||||
Hyd Fflat Cynradd | 32.5 mm ± 2.0 mm | ||||
Hyd Fflat Uwchradd | 18.0 mm ± 2.0 mm | ||||
Cyfeiriadedd Fflat Eilaidd | Wyneb silicon i fyny: 90 ° CW. o fflat Prime±5.0° | ||||
Gwahardd Ymyl | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Bow/Warp | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Garwedd | Pwyleg Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
Craciau Ymyl Gan Golau Dwysedd Uchel | Dim | Hyd cronnus ≤ 10 mm, hyd sengl≤2 mm | |||
Platiau Hecs Gan Golau Dwysedd Uchel | Arwynebedd cronnus ≤0.05% | Arwynebedd cronnus ≤0.1% | |||
Ardaloedd Polyteip Gan Golau Dwysedd Uchel | Dim | Arwynebedd cronnus ≤3% | |||
Cynhwysiadau Carbon Gweledol | Arwynebedd cronnus ≤0.05% | Arwynebedd cronnus ≤3% | |||
Crafiadau Arwyneb Silicon Gan Golau Dwysedd Uchel | Dim | Hyd cronnus≤1 × diamedr afrlladen | |||
Sglodion Ymyl Uchel Gan Dwysedd Golau | Ni chaniateir dim ≥0.2mm o led a dyfnder | 5 a ganiateir, ≤1 mm yr un | |||
Halogi Arwyneb Silicon Gan Dwysedd Uchel | Dim | ||||
Pecynnu | Casét Aml-waffer neu Gynhwysydd Wafferi Sengl |
Nodiadau:
※ Mae terfynau diffygion yn berthnasol i arwyneb cyfan wafferi ac eithrio'r ardal wahardd ymyl. # Dylid gwirio'r crafiadau ar wyneb Si yn unig.
Mae'r swbstrad SiC math P 4H/6H-P 3C-N math 4-modfedd SiC gyda chyfeiriadedd 〈111 〉 ± 0.5 ° a gradd Zero MPD yn cael ei ddefnyddio'n helaeth mewn cymwysiadau electronig perfformiad uchel. Mae ei ddargludedd thermol rhagorol a'i foltedd chwalu uchel yn ei gwneud yn ddelfrydol ar gyfer electroneg pŵer, megis switshis foltedd uchel, gwrthdroyddion, a thrawsnewidyddion pŵer, sy'n gweithredu mewn amodau eithafol. Yn ogystal, mae ymwrthedd y swbstrad i dymheredd uchel a chorydiad yn sicrhau perfformiad sefydlog mewn amgylcheddau garw. Mae'r cyfeiriadedd manwl gywir 〈111〉± 0.5 ° yn gwella cywirdeb gweithgynhyrchu, gan ei gwneud yn addas ar gyfer dyfeisiau RF a chymwysiadau amledd uchel, megis systemau radar ac offer cyfathrebu diwifr.
Mae manteision swbstradau cyfansawdd SiC math N yn cynnwys:
1. Dargludedd Thermol Uchel: Gwasgariad gwres effeithlon, gan ei wneud yn addas ar gyfer amgylcheddau tymheredd uchel a chymwysiadau pŵer uchel.
2. Foltedd Chwalu Uchel: Yn sicrhau perfformiad dibynadwy mewn cymwysiadau foltedd uchel fel trawsnewidyddion pŵer a gwrthdroyddion.
3. Zero MPD (Diffyg Pibell Micro) Gradd: Yn gwarantu diffygion lleiaf posibl, gan ddarparu sefydlogrwydd a dibynadwyedd uchel mewn dyfeisiau electronig hanfodol.
4. Gwrthsefyll Cyrydiad: Gwydn mewn amgylcheddau garw, gan sicrhau ymarferoldeb hirdymor mewn amodau anodd.
5. Cyfeiriadedd manwl gywir 〈111〉± 0.5 °: Yn caniatáu aliniad cywir yn ystod gweithgynhyrchu, gan wella perfformiad dyfeisiau mewn cymwysiadau amledd uchel ac RF.
Yn gyffredinol, mae'r swbstrad SiC math P 4H / 6H-P 3C-N math 4 modfedd SiC gyda chyfeiriadedd 〈111 〉 ± 0.5 ° a gradd Zero MPD yn ddeunydd perfformiad uchel sy'n ddelfrydol ar gyfer cymwysiadau electronig uwch. Mae ei ddargludedd thermol rhagorol a'i foltedd chwalu uchel yn ei gwneud yn berffaith ar gyfer electroneg pŵer fel switshis foltedd uchel, gwrthdroyddion a thrawsnewidwyr. Mae'r radd Zero MPD yn sicrhau ychydig iawn o ddiffygion, gan ddarparu dibynadwyedd a sefydlogrwydd mewn dyfeisiau critigol. Yn ogystal, mae ymwrthedd y swbstrad i gyrydiad a thymheredd uchel yn sicrhau gwydnwch mewn amgylcheddau garw. Mae'r cyfeiriadedd manwl gywir 〈111〉± 0.5 ° yn caniatáu aliniad cywir yn ystod gweithgynhyrchu, gan ei gwneud yn addas iawn ar gyfer dyfeisiau RF a chymwysiadau amledd uchel.