Braich Fforch Ceramig SiC / Effeithydd Terfynol – Trin Manwl Uwch ar gyfer Gweithgynhyrchu Lled-ddargludyddion

Disgrifiad Byr:

Mae Braich Fforch Ceramig SiC, a elwir yn aml yn Effeithydd Pen Ceramig, yn gydran trin manwl gywir perfformiad uchel a ddatblygwyd yn benodol ar gyfer cludo, alinio a lleoli wafferi mewn diwydiannau uwch-dechnoleg, yn enwedig o fewn cynhyrchu lled-ddargludyddion a ffotofoltäig. Wedi'i gynhyrchu gan ddefnyddio cerameg silicon carbid purdeb uchel, mae'r gydran hon yn cyfuno cryfder mecanyddol eithriadol, ehangu thermol isel iawn, a gwrthwynebiad uwch i sioc thermol a chorydiad.

Anfonwch e-bost atom ni

Nodweddion

Diagram Manwl

Trosolwg o'r Cynnyrch

Yn wahanol i effeithyddion diwedd traddodiadol wedi'u gwneud o alwminiwm, dur di-staen, neu hyd yn oed cwarts, mae effeithyddion diwedd ceramig SiC yn cynnig perfformiad heb ei ail mewn siambrau gwactod, ystafelloedd glân, ac amgylcheddau prosesu llym, gan eu gwneud yn rhan allweddol o robotiaid trin wafferi cenhedlaeth nesaf. Gyda'r galw cynyddol am gynhyrchu heb halogiad a goddefiannau tynnach mewn gwneud sglodion, mae defnyddio effeithyddion diwedd ceramig yn dod yn safon y diwydiant yn gyflym.

Egwyddor Gweithgynhyrchu

GwneuthuriadEffeithyddion Terfynol Ceramig SiCyn cynnwys cyfres o brosesau manwl gywir a phur iawn sy'n sicrhau perfformiad a gwydnwch. Defnyddir dau brif broses fel arfer:

Silicon Carbid wedi'i Fondio ag Adwaith (RB-SiC)

Yn y broses hon, mae rhagffurf wedi'i wneud o bowdr a rhwymwr silicon carbid yn cael ei drwytho â silicon tawdd ar dymheredd uchel (~1500°C), sy'n adweithio â charbon gweddilliol i ffurfio cyfansawdd SiC-Si trwchus, anhyblyg. Mae'r dull hwn yn cynnig rheolaeth ddimensiynol ragorol ac mae'n gost-effeithiol ar gyfer cynhyrchu ar raddfa fawr.

Silicon Carbid Sintered Di-bwysau (SSiC)

Gwneir SSiC trwy sintro powdr SiC mân iawn, pur iawn ar dymheredd eithriadol o uchel (>2000°C) heb ddefnyddio ychwanegion na chyfnod rhwymo. Mae hyn yn arwain at gynnyrch gyda dwysedd bron i 100% a'r priodweddau mecanyddol a thermol uchaf sydd ar gael ymhlith deunyddiau SiC. Mae'n ddelfrydol ar gyfer cymwysiadau trin wafferi hynod feirniadol.

Ôl-brosesu

Peiriannu CNC Manwl gywir: Yn cyflawni gwastadrwydd a chyfochrogrwydd uchel.
Gorffen ArwynebMae caboli diemwnt yn lleihau garwedd arwyneb i <0.02 µm.
ArolygiadDefnyddir interferometreg optegol, CMM, a phrofion nad ydynt yn ddinistriol i wirio pob darn.

Mae'r camau hyn yn gwarantu bod yEffeithydd diwedd SiCyn darparu cywirdeb lleoli wafer cyson, gwastadrwydd rhagorol, a chynhyrchu gronynnau lleiaf posibl.

Nodweddion Allweddol a Manteision

Nodwedd	Disgrifiad
Caledwch Ultra-Uchel	Caledwch Vickers > 2500 HV, yn gwrthsefyll traul a naddu.
Ehangu Thermol Isel	CTE ~4.5×10⁻⁶/K, gan alluogi sefydlogrwydd dimensiynol mewn cylchred thermol.
Anadweithioldeb Cemegol	Yn gwrthsefyll HF, HCl, nwyon plasma, ac asiantau cyrydol eraill.
Gwrthiant Sioc Thermol Rhagorol	Addas ar gyfer gwresogi/oeri cyflym mewn systemau gwactod a ffwrnais.
Anhyblygrwydd a Chryfder Uchel	Yn cefnogi breichiau fforc cantiliferog hir heb wyriad.
Allnwyo Isel	Yn ddelfrydol ar gyfer amgylcheddau gwactod uwch-uchel (UHV).
Yn Barod ar gyfer Ystafell Lân Dosbarth 1 ISO	Mae gweithrediad di-ronynnau yn sicrhau cyfanrwydd wafer.

Cymwysiadau

Defnyddir Braich Fforc / Effeithydd Pen Ceramig SiC yn helaeth mewn diwydiannau sydd angen manwl gywirdeb, glendid a gwrthiant cemegol eithafol. Mae senarios cymhwysiad allweddol yn cynnwys:

Gweithgynhyrchu Lled-ddargludyddion

Llwytho/dadlwytho wafers mewn systemau dyddodiad (CVD, PVD), ysgythru (RIE, DRIE), a glanhau.
Cludiant wafer robotig rhwng FOUPs, casetiau ac offer prosesu.
Trin tymheredd uchel yn ystod prosesu thermol neu anelio.

Cynhyrchu Celloedd Ffotofoltäig

Cludiant cain o wafers silicon bregus neu swbstradau solar mewn llinellau awtomataidd.

Diwydiant Arddangosfa Panel Fflat (FPD)

Symud paneli neu swbstradau gwydr mawr mewn amgylcheddau cynhyrchu OLED/LCD.

Lled-ddargludyddion Cyfansawdd / MEMS

Wedi'i ddefnyddio mewn llinellau gweithgynhyrchu GaN, SiC, a MEMS lle mae rheoli halogiad a chywirdeb lleoli yn hanfodol.

Mae ei rôl fel effeithydd terfynol yn arbennig o hanfodol wrth sicrhau trin sefydlog, heb ddiffygion yn ystod gweithrediadau sensitif.

Galluoedd Addasu

Rydym yn cynnig addasu helaeth i fodloni gofynion amrywiol o ran offer a phrosesau:

Dyluniad FforcCynlluniau dau big, aml-fys, neu lefel hollt.
Cydnawsedd Maint WaferO wafferi 2” i 12”.
Rhyngwynebau MowntioYn gydnaws â breichiau robotig OEM.
Goddefiannau Trwch a WynebGwastadrwydd lefel micron a thalgrynnu ymyl ar gael.
Nodweddion GwrthlithroGweadau neu orchuddion arwyneb dewisol ar gyfer gafael diogel ar wafers.

Pob uneffeithydd pen ceramigwedi'i gyd-gynllunio gyda chleientiaid i sicrhau ffitiad manwl gywir gyda newidiadau offer lleiaf posibl.

Cwestiynau Cyffredin (FAQ)

C1: Sut mae SiC yn well na chwarts ar gyfer cymhwysiad effeithydd terfynol?
A1:Er bod cwarts yn cael ei ddefnyddio'n gyffredin am ei burdeb, mae'n brin o galedwch mecanyddol ac mae'n dueddol o dorri o dan lwyth neu sioc tymheredd. Mae SiC yn cynnig cryfder uwch, ymwrthedd i wisgo, a sefydlogrwydd thermol, gan leihau'r risg o amser segur a difrod i wafferi yn sylweddol.

C2: A yw'r fraich fforc ceramig hon yn gydnaws â phob trinwr wafer robotig?
A2:Ydy, mae ein heffeithyddion diwedd ceramig yn gydnaws â'r rhan fwyaf o systemau trin wafferi mawr a gellir eu haddasu i'ch modelau robotig penodol gyda lluniadau peirianneg manwl gywir.

C3: A all drin wafferi 300 mm heb ystofio?
A3:Yn hollol. Mae anhyblygedd uchel SiC yn caniatáu i hyd yn oed breichiau fforch tenau, hir ddal wafferi 300 mm yn ddiogel heb sagio na gwyro yn ystod symudiad.

C4: Beth yw oes gwasanaeth nodweddiadol effeithydd pen ceramig SiC?
A4:Gyda'i ddefnydd priodol, gall effeithydd terfynol SiC bara 5 i 10 gwaith yn hirach na modelau cwarts neu alwminiwm traddodiadol, diolch i'w wrthwynebiad rhagorol i straen thermol a mecanyddol.

C5: Ydych chi'n cynnig gwasanaethau amnewid neu brototeipio cyflym?
A5:Ydym, rydym yn cefnogi cynhyrchu samplau cyflym ac yn cynnig gwasanaethau amnewid yn seiliedig ar luniadau CAD neu rannau wedi'u peiriannu'n ôl o offer presennol.

Amdanom Ni

Mae XKH yn arbenigo mewn datblygu, cynhyrchu a gwerthu gwydr optegol arbennig a deunyddiau crisial newydd mewn technoleg uchel. Mae ein cynnyrch yn gwasanaethu electroneg optegol, electroneg defnyddwyr, a'r fyddin. Rydym yn cynnig cydrannau optegol Saffir, gorchuddion lensys ffonau symudol, Cerameg, LT, Silicon Carbide SIC, Cwarts, a wafers crisial lled-ddargludyddion. Gyda arbenigedd medrus ac offer arloesol, rydym yn rhagori mewn prosesu cynhyrchion ansafonol, gan anelu at fod yn fenter uwch-dechnoleg deunyddiau optoelectroneg flaenllaw.