Graffit plât hambwrdd ceramig SiC gyda gorchudd CVD SiC ar gyfer offer

Disgrifiad Byr:

Mae Shanghai Xinkehui New Materials Co, Ltd yn cynhyrchu disg ysgythru lled-ddargludyddion Φ380mm-Φ600mm, disg dwyn wafer, hambwrdd carbid silicon, hambwrdd SIC, hambwrdd carbid silicon, hambwrdd ysgythru ICP, hambwrdd ysgythru, purdeb carbid silicon> 99.9%, bywyd gwasanaeth hambwrdd SIC yn bedair gwaith yn fwy na hambwrdd CVD sy'n seiliedig ar graffit, defnydd hirdymor heb anffurfiad, Yn gwrthsefyll asid FH, cyrydiad H2So4 crynodedig.

Anfonwch e-bost atom

Manylion Cynnyrch

Tagiau Cynnyrch

Nid yn unig y defnyddir cerameg carbid silicon yn y cam dyddodi ffilm denau, megis epitaxy neu MOCVD, neu mewn prosesu wafferi, y mae'r hambyrddau cludo wafferi ar gyfer MOCVD yn gyntaf yn destun yr amgylchedd dyddodi yn ei hanfod, ac felly maent yn gallu gwrthsefyll yn fawr. gwres a cyrydiad.Mae gan gludwyr wedi'u gorchuddio â SiC hefyd ddargludedd thermol uchel ac eiddo dosbarthu thermol rhagorol.

Dyddodiad Anwedd Cemegol Pur Cludwyr wafferi Silicon Carbide (CVD SiC) ar gyfer prosesu Dyddodiad Dyddodiad Anwedd Cemegol Metel Organig (MOCVD) tymheredd uchel.

Mae cludwyr wafferi CVD SiC pur yn sylweddol well na'r cludwyr wafferi confensiynol a ddefnyddir yn y broses hon, sy'n graffit ac wedi'u gorchuddio â haen o CVD SiC. ni all y cludwyr hyn sy'n seiliedig ar graffit â chaenen wrthsefyll y tymheredd uchel (1100 i 1200 gradd Celsius) sy'n ofynnol ar gyfer dyddodiad GaN o ddisgleirdeb uchel heddiw dan arweiniad glas a gwyn. Mae'r tymereddau uchel yn achosi i'r cotio ddatblygu tyllau pin bach lle mae cemegau proses yn erydu'r graffit oddi tano. Yna mae'r gronynnau graffit yn fflawio i ffwrdd ac yn halogi'r GaN, gan achosi i'r cludwr wafferi wedi'i orchuddio gael ei ddisodli.

Mae gan CVD SiC burdeb o 99.999% neu fwy ac mae ganddo ddargludedd thermol uchel ac ymwrthedd sioc thermol. Felly, gall wrthsefyll tymheredd uchel ac amgylcheddau llym gweithgynhyrchu LED disgleirdeb uchel. Mae'n ddeunydd monolithig solet sy'n cyrraedd dwysedd damcaniaethol, yn cynhyrchu gronynnau bach iawn, ac yn arddangos ymwrthedd cyrydiad ac erydiad uchel iawn. Gall y deunydd newid didreiddedd a dargludedd heb gyflwyno amhureddau metelaidd. Mae cludwyr waffer fel arfer yn 17 modfedd mewn diamedr a gallant ddal hyd at 40 o wafferi 2-4 modfedd.