Datrysiad Integredig Gorchudd Hadau SiC–Bondio–Sinterio

Disgrifiad Byr:

Trawsnewid bondio hadau SiC o waith sy'n ddibynnol ar weithredwr yn broses ailadroddadwy, wedi'i gyrru gan baramedrau: trwch haen gludiog rheoledig, aliniad canol gyda gwasgu bagiau aer, dad-swigo gwactod, a chydgrynhoi carboneiddio y gellir ei addasu o ran tymheredd/pwysedd. Wedi'i adeiladu ar gyfer senarios cynhyrchu 6/8/12 modfedd.

Anfonwch e-bost atom ni

Nodweddion

Diagram Manwl

SiC 晶体生长炉 SiC Grisial Twf Ffwrnais Gorchudd Hadau SiC– Bondio–Sintering Ateb Integredig

Peiriant Gorchudd SiC SiC Datrysiad Integredig Gorchudd–Bondio–Sinterio Hadau SiC

Cotio Chwistrellu Manwl • Bondio Aliniad Canol • Dad-swigio Gwactod • Cydgrynhoi Carboneiddio/Sinteru

Trosolwg o'r Cynnyrch

Beth ydyw

Mae'r ateb integredig hwn wedi'i gynllunio ar gyfer cam i fyny'r afon twf crisial SiC lle mae'r had/wafer wedi'i fondio i bapur graffit/plât graffit (a rhyngwynebau cysylltiedig). Mae'n cau'r ddolen broses ar draws:

Cotio (glud chwistrellu) → Bondio (alinio + gwasgu + dad-swigio gwactod) → Sintro/Carboneiddio (cyfuno a halltu)

Drwy reoli ffurfio glud, tynnu swigod, a chydgrynhoi terfynol fel un gadwyn, mae'r ateb yn gwella cysondeb, gweithgynhyrchu, a graddadwyedd.

Datrysiad Integredig Gorchudd Hadau SiC–Bondio–Sinterio 1

Dewisiadau Ffurfweddu

A. Llinell lled-awtomatig
Peiriant Gorchudd Chwistrellu SiC → Peiriant Bondio SiC → Ffwrnais Sinteru SiC

B. Llinell gwbl awtomatig
Peiriant Gorchuddio Chwistrellu a Bondio Awtomatig → Ffwrnais Sinteru SiC
Integreiddiadau dewisol: trin robotig, calibradu/alinio, darllen ID, canfod swigod

Datrysiad Integredig Gorchudd Hadau SiC–Bondio–Sinterio 2

Manteision Allweddol

• Trwch a gorchudd haen gludiog rheoledig ar gyfer ailadroddadwyedd gwell
• Aliniad canol a gwasgu bagiau awyr ar gyfer cyswllt a dosbarthiad pwysau cyson
• Dad-swigio â gwactod i leihau swigod/gwagleoedd y tu mewn i'r haen gludiog
• Cydgrynhoi carboneiddio tymheredd/pwysau addasadwy i sefydlogi'r bond terfynol
• Opsiynau awtomeiddio ar gyfer amser cylchred sefydlog, olrhainadwyedd, a rheoli ansawdd mewn-lein

Egwyddor

Pam mae dulliau traddodiadol yn ei chael hi'n anodd
Mae perfformiad bondio hadau fel arfer yn gyfyngedig gan dri newidyn cysylltiedig:

Cysondeb yr haen gludiog (trwch ac unffurfiaeth)
Rheoli swigod/gwagle (aer wedi'i ddal yn yr haen gludiog)
Sefydlogrwydd ôl-fond ar ôl halltu/carboneiddio

Mae cotio â llaw yn aml yn arwain at anghysondeb trwch, anodd dad-swigo, risg uwch o wagleoedd mewnol, crafu posibl ar arwynebau graffit, a graddadwyedd gwael ar gyfer cynhyrchu màs.

Gall cotio sbin gynhyrchu trwch ansefydlog oherwydd ymddygiad llif gludiog, tensiwn arwyneb, a grym allgyrchol. Gall hefyd wynebu halogiad ochr a chyfyngiadau gosod ar bapur/platiau graffit, a gall fod yn anodd i ludyddion â chynnwys solet eu cotio'n unffurf.

Datrysiad Integredig Gorchudd Hadau SiC–Bondio–Sinterio 3

Sut mae'r dull integredig yn gweithio

Cotio: Mae cotio chwistrellu yn ffurfio trwch a gorchudd haen gludiog mwy rheoladwy ar arwynebau targed (had/wafer, papur/plât graffit).

Bondio: Mae aliniad canolog + gwasgu bag aer yn cefnogi cyswllt cyson; mae dad-swigod gwactod yn lleihau aer, swigod a bylchau sydd wedi'u dal yn yr haen gludiog.

Sintro/Carboneiddio: Mae cydgrynhoi tymheredd uchel gyda thymheredd a phwysau addasadwy yn sefydlogi'r rhyngwyneb bondio terfynol, gan dargedu canlyniadau gwasgu unffurf heb swigod.

Datganiad perfformiad cyfeirio
Gall cynnyrch bondio carboneiddio gyrraedd 90%+ (cyfeirnod proses). Rhestrir cyfeiriadau cynnyrch bondio nodweddiadol yn yr adran Achosion Clasurol.

Proses

A. Llif Gwaith Lled-awtomatig

Cam 1 — Gorchudd Chwistrellu (Cotio)
Rhowch glud trwy orchudd chwistrellu ar arwynebau targed i gyflawni trwch sefydlog a gorchudd unffurf.

Cam 2 — Alinio a Bondio (Bondio)
Perfformiwch aliniad canol, gwasgwch y bag aer, a defnyddiwch ddad-swigod gwactod i gael gwared ar aer sydd wedi'i ddal yn yr haen gludiog.

Cam 3 — Cydgrynhoi Carboneiddio (Sinterio/Carboneiddio)
Trosglwyddwch y rhannau wedi'u bondio i'r ffwrnais sinteru a rhedeg cydgrynhoi carboneiddio tymheredd uchel gyda thymheredd a phwysau addasadwy i sefydlogi'r bond terfynol.

B. Llif Gwaith Hollol Awtomatig

Mae'r peiriant cotio a bondio chwistrellu awtomatig yn integreiddio gweithredoedd cotio a bondio a gall gynnwys trin a graddnodi robotig. Gall opsiynau mewn-lein gynnwys darllen ID a chanfod swigod ar gyfer olrhain a rheoli ansawdd. Yna mae rhannau'n mynd ymlaen i'r ffwrnais sinteru ar gyfer cydgrynhoi carboneiddio.

Hyblygrwydd llwybr proses
Yn dibynnu ar ddeunyddiau'r rhyngwyneb a'r arfer a ffefrir, gall y system gefnogi gwahanol ddilyniannau cotio a llwybrau chwistrellu un ochr neu ddwy ochr gan gynnal yr un amcan: haen gludiog sefydlog → dadswigio effeithiol → cydgrynhoi unffurf.

Datrysiad Integredig Gorchudd Hadau SiC–Bondio–Sinterio 4

Cymwysiadau

Prif gymhwysiad
Bondio hadau i fyny'r afon twf crisial SiC: bondio hadau/wafer i bapur graffit/plât graffit a rhyngwynebau cysylltiedig, ac yna cydgrynhoi carboneiddio.

Senarios maint
Yn cefnogi cymwysiadau bondio 6/8/12 modfedd trwy ddewis ffurfweddiad a llwybro prosesau dilys.

Dangosyddion ffit nodweddiadol
• Mae cotio â llaw yn achosi amrywioldeb trwch, swigod/gwagleoedd, crafiadau, a chynnyrch anghyson
• Mae trwch yr haen nyddu yn ansefydlog neu'n anodd ar bapur/platiau graffit; mae cyfyngiadau halogiad/gosod ochr yn bodoli
• Mae angen gweithgynhyrchu graddadwy arnoch gyda ailadroddadwyedd tynnach a llai o ddibyniaeth ar weithredwyr
• Rydych chi eisiau awtomeiddio, olrhain, ac opsiynau QC mewnol (ID + canfod swigod)

Achosion Clasurol (Canlyniadau Nodweddiadol)

Nodyn: Dyma gyfeiriadau data cyfeirio / proses nodweddiadol. Mae perfformiad gwirioneddol yn dibynnu ar y system gludiog, amodau'r deunydd sy'n dod i mewn, ffenestr broses ddilys, a safonau arolygu.

Achos 1 — Bondio Hadau 6/8-modfedd (Cyfeirnod Trwybwn a Chynnyrch)
Dim plât graffit: 6 pcs/uned/dydd
Gyda phlât graffit: 2.5 pcs/uned/dydd
Cynnyrch bondio: ≥95%

Achos 2 — Bondio Hadau 12 modfedd (Cyfeirnod Trwybwn a Chynnyrch)
Dim plât graffit: 5 pcs/uned/dydd
Gyda phlât graffit: 2 pcs/uned/dydd
Cynnyrch bondio: ≥95%

Achos 3 — Cyfeirnod Cynnyrch Cydgrynhoi Carboneiddio
Cynnyrch bondio carboneiddio: 90%+ (cyfeirnod proses)
Canlyniad targed: canlyniadau gwasgu unffurf a heb swigod (yn amodol ar feini prawf dilysu ac archwilio)

Datrysiad Integredig Gorchudd Hadau SiC–Bondio–Sinterio 5

Cwestiynau Cyffredin

C1: Beth yw'r broblem graidd y mae'r ateb hwn yn mynd i'r afael â hi?
A: Mae'n sefydlogi bondio hadau trwy reoli trwch/gorchudd gludiog, perfformiad dad-swigo, a chydgrynhoi ar ôl bondio—gan droi cam sy'n ddibynnol ar sgil yn broses weithgynhyrchu ailadroddadwy.

C2: Pam mae cotio â llaw yn aml yn arwain at swigod/gwagleoedd?
A: Mae dulliau â llaw yn ei chael hi'n anodd cynnal trwch cyson, gan wneud dad-swigo'n anoddach a chynyddu'r risg o aer sydd wedi'i ddal. Gallant hefyd grafu arwynebau graffit ac maent yn anodd eu safoni ar gyfaint.

C3: Pam y gall cotio nyddu fod yn ansefydlog ar gyfer y cymhwysiad hwn?
A: Mae trwch yn sensitif i ymddygiad llif gludiog, tensiwn arwyneb, a grym allgyrchol. Gall gorchudd papur/plât graffit gael ei gyfyngu gan osodiadau a risg halogiad ochr, a gall fod yn anodd cotio gludiog â chynnwys solet yn unffurf.

Amdanom Ni

Mae XKH yn arbenigo mewn datblygu, cynhyrchu a gwerthu gwydr optegol arbennig a deunyddiau crisial newydd mewn technoleg uchel. Mae ein cynnyrch yn gwasanaethu electroneg optegol, electroneg defnyddwyr, a'r fyddin. Rydym yn cynnig cydrannau optegol Saffir, gorchuddion lensys ffonau symudol, Cerameg, LT, Silicon Carbide SIC, Cwarts, a wafers crisial lled-ddargludyddion. Gyda arbenigedd medrus ac offer arloesol, rydym yn rhagori mewn prosesu cynhyrchion ansafonol, gan anelu at fod yn fenter uwch-dechnoleg deunyddiau optoelectroneg flaenllaw.