Swbstradau gwydr TGV 12 modfedd dyrnu gwydr wafer

Mae swbstradau gwydr yn perfformio'n well o ran priodweddau thermol, sefydlogrwydd ffisegol, ac maent yn fwy gwrthsefyll gwres ac yn llai tueddol o gael problemau ystofio neu anffurfio oherwydd tymereddau uchel;

Yn ogystal, mae priodweddau trydanol unigryw craidd y gwydr yn caniatáu colledion dielectrig is, gan ganiatáu trosglwyddo signal a phŵer cliriach. O ganlyniad, mae colli pŵer yn ystod trosglwyddo signal yn cael ei leihau ac mae effeithlonrwydd cyffredinol y sglodion yn cael ei hybu'n naturiol. Gellir lleihau trwch y swbstrad craidd gwydr tua hanner o'i gymharu â phlastig ABF, ac mae'r teneuo yn gwella cyflymder trosglwyddo signal ac effeithlonrwydd pŵer.

Technoleg ffurfio tyllau TGV:

Defnyddir dull ysgythru a achosir gan laser i ysgogi parth dadnatureiddio parhaus trwy laser pwls, ac yna rhoddir y gwydr wedi'i drin â laser mewn hydoddiant asid hydrofflworig i'w ysgythru. Mae cyfradd ysgythru gwydr parth dadnatureiddio mewn asid hydrofflworig yn gyflymach na gwydr heb ei ddadnatureiddio i ffurfio tyllau trwodd.

Llenwad TGV:

Yn gyntaf, gwneir tyllau dall TGV. Yn ail, dyddodwyd yr haen hadau y tu mewn i dwll dall y TGV trwy ddyddodiad anwedd corfforol (PVD). Yn drydydd, mae electroplatio o'r gwaelod i fyny yn cyflawni llenwi di-dor o TGV; Yn olaf, trwy fondio dros dro, malu'n ôl, sgleinio mecanyddol cemegol (CMP) amlygiad copr, dad-fondio, gan ffurfio plât trosglwyddo wedi'i lenwi â metel TGV.