Llwyfan Aer-Dwyn SiC Ultra-Manwl

Delwedd Nodwedd Llwyfan Bearing Aer SiC Ultra-Manwl

Disgrifiad Byr:

Gyda esblygiad parhaus y diwydiant lled-ddargludyddion, mae offer prosesu ac archwilio yn mynnu perfformiad uwch ac uwch. Gan adeiladu ar arbenigedd helaeth mewn rheoli symudiadau a lleoli ar lefel nanometr, rydym wedi datblygu llwyfan dwyn aer manwl iawn math H, deuol-echel.

Anfonwch e-bost atom ni

Nodweddion

Diagram Manwl

Trosolwg

Wedi'i beiriannu gyda strwythur ceramig silicon carbid (SiC) wedi'i optimeiddio ar gyfer elfennau meidraidd a thechnoleg dwyn aer wedi'i digolledu, mae'r llwyfan yn darparu cywirdeb, anhyblygedd ac ymateb deinamig rhagorol. Mae'n addas iawn ar gyfer:

Prosesu ac archwilio lled-ddargludyddion
Gwneuthuriad micro/nano a metroleg
Torri a sgleinio pryfed ar raddfa nanometr
Sganio manwl gywirdeb cyflym

Nodweddion Allweddol

Canllaw dwyn aer SiCar gyfer anystwythder a chywirdeb uwch-uchel
Dynameg uchelcyflymder hyd at 1 m/s, cyflymiad hyd at 4 g, setlo'n gyflym
Echel-Y gantry gyriant deuolyn sicrhau capasiti llwyth uchel a sefydlogrwydd
Dewisiadau amgodwr: gratiad optegol neu interferomedr laser
Cywirdeb lleoli: ±0.15 μm;ailadroddadwyedd: ±75 nm
Llwybro cebl wedi'i optimeiddioar gyfer dyluniad glân a dibynadwyedd hirdymor
Ffurfweddiadau addasadwyar gyfer anghenion penodol i gymwysiadau

Dylunio Ultra-Manwl a Phensaernïaeth Gyriant Uniongyrchol, Di-gyswllt

Ffrâm Ceramig SiC~5× anystwythder aloi alwminiwm ac ehangu thermol ~5× yn is, gan sicrhau sefydlogrwydd cyflymder uchel a chadernid thermol.
Dwyn Aer wedi'i DdigolleduMae dyluniad perchnogol yn gwella anystwythder, capasiti llwyth, a sefydlogrwydd symudiad.
Perfformiad DynamigYn cefnogi cyflymder o 1 m/s a chyflymiad o 4 g, yn ddelfrydol ar gyfer prosesau trwybwn uchel.
Integreiddio Di-dorYn gydnaws â systemau ynysu dirgryniad, llwyfannau cylchdro, modiwlau gogwydd, a llwyfannau trin wafferi.
Rheoli CeblauMae radiws plygu rheoledig yn lleihau straen am oes gwasanaeth estynedig.

Modur Llinol Di-graiddSymudiad llyfn heb unrhyw rym cogio.
Gyriant Aml-FodurMae lleoliad modur plân llwyth yn gwella sythder, gwastadrwydd a chywirdeb onglog.
Ynysu ThermolMae moduron wedi'u hynysu oddi wrth strwythur y llwyfan; oeri aer neu ddŵr dewisol ar gyfer cylchoedd dyletswydd uchel.

Manylebau

Model	400-400	500-500	600-600
Bwyelli	X (sgan) / Y (cam)	X (sgan) / Y (cam)	X (sgan) / Y (cam)
Teithio (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Cywirdeb (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
Ailadroddadwyedd (nm)	±75	±100	±100
Datrysiad (nm)	0.3	0.3	0.3
Cyflymder Uchaf (m/e)	1	1	1
Cyflymiad (g)	4	4	4
Sythder (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
Sefydlogrwydd (nm)	±5	±5	±5
Llwyth Uchaf (kg)	20	20	20
Pitch/Rholio/Yaw (arc-eiliad)	±1	±1	±1

Amodau Prawf:

Cyflenwad aer: glân, sych; pwynt gwlith ≤ 0°F; hidlo gronynnau ≤ 0.25 μm; neu 99.99% nitrogen.
Cywirdeb wedi'i fesur 25 mm uwchben canol y llwyfan ar 20±1 °C, 40–60% RH.

Cymwysiadau

Lithograffeg lled-ddargludyddion, archwilio, a thrin wafferi
Gwneuthuriad micro/nano a metroleg fanwl gywir
Gweithgynhyrchu opteg pen uchel ac interferometreg
Awyrofod ac ymchwil wyddonol uwch

Cwestiynau Cyffredin – Llwyfan Beryn Aer Silicon Carbid

1. Beth yw cam sy'n dwyn aer?

Mae llwyfan sy'n dwyn aer yn defnyddio ffilm denau o aer dan bwysau rhwng y llwyfan a'r llwybr canllaw i ddarparusymudiad di-ffrithiant, di-wisgo, ac hynod esmwythYn wahanol i berynnau mecanyddol confensiynol, mae'n dileu llithro glynu, yn darparu cywirdeb lefel nanometr, ac yn cefnogi dibynadwyedd hirdymor.

2. Pam defnyddio silicon carbide (SiC) ar gyfer strwythur y llwyfan?

Anystwythder uchel~5× cymaint ag aloi alwminiwm, gan leihau'r anffurfiad yn ystod symudiad deinamig.
Ehangu thermol isel~5× yn is nag alwminiwm, gan gynnal cywirdeb o dan amrywiadau tymheredd.
YsgafnDwysedd is o'i gymharu â dur, gan alluogi gweithrediad cyflymder uchel a chyflymiad uchel.
Sefydlogrwydd rhagorol: Dampio ac anhyblygedd uwchraddol ar gyfer lleoli hynod fanwl gywir.

3. A oes angen iro neu gynnal a chadw'r llwyfan?

Nid oes angen iro traddodiadol gan foddim cyswllt mecanyddolMae cynnal a chadw a argymhellir yn cynnwys:

Cyflenwiaer cywasgedig glân, sych neu nitrogen
Archwiliad cyfnodol o hidlwyr a sychwyr
Monitro ceblau a systemau oeri

4. Beth yw'r gofynion cyflenwi aer?

Pwynt gwlith: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Hidlo gronynnau: ≤ 0.25 μm
Aer glân, sych neu nitrogen pur 99.99%
Pwysedd sefydlog gyda'r amrywiad lleiaf posibl

Amdanom Ni

Mae XKH yn arbenigo mewn datblygu, cynhyrchu a gwerthu gwydr optegol arbennig a deunyddiau crisial newydd mewn technoleg uchel. Mae ein cynnyrch yn gwasanaethu electroneg optegol, electroneg defnyddwyr, a'r fyddin. Rydym yn cynnig cydrannau optegol Saffir, gorchuddion lensys ffonau symudol, Cerameg, LT, Silicon Carbide SIC, Cwarts, a wafers crisial lled-ddargludyddion. Gyda arbenigedd medrus ac offer arloesol, rydym yn rhagori mewn prosesu cynhyrchion ansafonol, gan anelu at fod yn fenter uwch-dechnoleg deunyddiau optoelectroneg flaenllaw.