Waferi SiC 4 modfedd Swbstradau SiC Lled-Inswleiddio 6H gradd sylfaenol, ymchwil, a ffug

Disgrifiad Byr:

Mae swbstrad silicon carbid lled-inswleiddio yn cael ei ffurfio trwy dorri, malu, caboli, glanhau a thechnoleg brosesu arall ar ôl tyfu grisial silicon carbid lled-inswleiddio. Mae haen grisial haen neu amlhaen yn cael ei thyfu ar y swbstrad sy'n bodloni'r gofynion ansawdd fel epitacsi, ac yna mae'r ddyfais RF microdon yn cael ei gwneud trwy gyfuno dyluniad a phecynnu'r gylched. Ar gael fel swbstradau grisial sengl silicon carbid lled-inswleiddio gradd diwydiannol, ymchwil a phrofi 2 modfedd 3 modfedd 4 modfedd 6 modfedd 8 modfedd.

Anfonwch e-bost atom ni

Manylion Cynnyrch

Tagiau Cynnyrch

Manyleb Cynnyrch

Gradd			Gradd Cynhyrchu MPD Sero (Gradd Z)			Gradd Cynhyrchu Safonol (Gradd P)		Gradd Ffug (Gradd D)
Diamedr			99.5 mm ~ 100.0 mm
	4H-SI		500 μm ± 20 μm			500 μm ± 25 μm
Cyfeiriadedd Wafer			Oddi ar yr echel: 4.0° tuag at < 1120 > ±0.5° ar gyfer 4H-N, Ar yr echel: < 0001 > ±0.5° ar gyfer 4H-SI
	4H-SI		≤1cm^-2			≤5 cm^-2		≤15 cm^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·cm					≥1E5 Ω·cm
Cyfeiriadedd Gwastad Cynradd		{10-10} ±5.0°
Hyd Fflat Cynradd		32.5 mm±2.0 mm
Hyd Fflat Eilaidd		18.0 mm±2.0 mm
Cyfeiriadedd Gwastad Eilaidd		Wyneb silicon i fyny: 90° CW. o fflat Prime ±5.0°
Eithrio Ymyl		3 mm
LTV/TTV/Bwa/Ystof		≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm						≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Garwedd			Wyneb C				Pwyleg		Ra≤1 nm
			Wyneb Si	CMP	Ra≤0.2 nm					Ra≤0.5 nm
Craciau Ymyl Gan Olau Dwyster Uchel		Dim						Hyd cronnus ≤ 10 mm, sengl hyd≤2 mm
Platiau Hecsagon Gan Olau Dwyster Uchel		Arwynebedd cronnus ≤0.05%						Arwynebedd cronnus ≤0.1%
Ardaloedd Polyteip Gan Olau Dwyster Uchel		Dim						Arwynebedd cronnus≤3%
Cynhwysiadau Carbon Gweledol		Arwynebedd cronnus ≤0.05%						Arwynebedd cronnus ≤3%
Crafiadau Arwyneb Silicon Gan Olau Dwyster Uchel		Dim						Hyd cronnus ≤1＊diamedr wafer
Sglodion Ymyl Golau Dwyster Uchel		Dim a ganiateir ≥0.2 mm o led a dyfnder						5 yn cael eu caniatáu, ≤1 mm yr un
Halogiad Arwyneb Silicon Gan Ddwyster Uchel		Dim
Pecynnu		Casét Aml-wafer Neu Gynhwysydd Wafer Sengl