Wafers SiC Silicon Carbide 6 modfedd 150mm math 4H-N ar gyfer Ymchwil Cynhyrchu MOS neu SBD a gradd ffug
Meysydd Cais
Mae'r swbstrad grisial sengl silicon carbid 6 modfedd yn chwarae rhan hanfodol mewn nifer o ddiwydiannau. Yn gyntaf, fe'i defnyddir yn helaeth yn y diwydiant lled-ddargludyddion ar gyfer cynhyrchu dyfeisiau electronig pŵer uchel fel transistorau pŵer, cylchedau integredig, a modiwlau pŵer. Mae ei ddargludedd thermol uchel a'i wrthwynebiad tymheredd uchel yn galluogi gwasgariad gwres gwell, gan arwain at well effeithlonrwydd a dibynadwyedd. Yn ail, mae wafferi silicon carbid yn hanfodol mewn meysydd ymchwil ar gyfer datblygu deunyddiau a dyfeisiau newydd. Yn ogystal, mae'r waffer silicon carbid yn cael ei defnyddio'n helaeth ym maes optoelectroneg, gan gynnwys cynhyrchu LEDs a deuodau laser.
Manylebau Cynnyrch
Mae gan y swbstrad grisial sengl silicon carbid 6 modfedd ddiamedr o 6 modfedd (tua 152.4 mm). Mae garwedd yr wyneb yn Ra < 0.5 nm, a'r trwch yn 600 ± 25 μm. Gellir addasu'r swbstrad gyda dargludedd math-N neu fath-P, yn seiliedig ar ofynion y cwsmer. Ar ben hynny, mae'n arddangos sefydlogrwydd mecanyddol eithriadol, gan allu gwrthsefyll pwysau a dirgryniad.
Diamedr | 150±2.0mm (6 modfedd) | ||||
Trwch | 350 μm ± 25μm | ||||
Cyfeiriadedd | Ar yr echel: <0001> ± 0.5° | Oddi ar yr echel: 4.0° tuag at 1120 ± 0.5° | |||
Polyteip | 4H | ||||
Gwrthiant (Ω·cm) | 4H-N | 0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Cyfeiriadedd gwastad cynradd | {10-10}±5.0° | ||||
Hyd fflat cynradd (mm) | 47.5 mm±2.5 mm | ||||
Ymyl | Siamffr | ||||
TTV/Bwa/Ystof (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
Blaen AFM (Wyneb Si) | Ra Pwyleg≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.5 nm | |||||
LTV | ≤3μm (10mm * 10mm) | ≤5μm (10mm * 10mm) | ≤10μm (10mm * 10mm) | ||
TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
Croen oren/pylleoedd/craciau/halogiad/staeniau/rhwygiadau | Dim | Dim | Dim | ||
mewnoliadau | Dim | Dim | Dim |
Mae'r swbstrad grisial sengl silicon carbid 6 modfedd yn ddeunydd perfformiad uchel a ddefnyddir yn helaeth yn y diwydiannau lled-ddargludyddion, ymchwil ac optoelectroneg. Mae'n cynnig dargludedd thermol rhagorol, sefydlogrwydd mecanyddol, a gwrthiant tymheredd uchel, gan ei wneud yn addas ar gyfer cynhyrchu dyfeisiau electronig pŵer uchel ac ymchwil deunyddiau newydd. Rydym yn darparu amrywiol fanylebau ac opsiynau addasu i ddiwallu gofynion amrywiol cwsmeriaid.Cysylltwch â ni am fwy o fanylion am wafers silicon carbid!
Diagram Manwl

